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真空爐的真空度測量

2021-03-24  瀏（liú）覽：1785次

　　真空測量是真空（kōng）技術中的一個重要組（zǔ）成部分。用於測量真空度的（de）儀器稱為真空計。  真空熱處理爐及真空熔煉（liàn）爐常（cháng）用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等。它們的工作原理如下：

　　（一）熱偶真空計

　　熱偶真空計由敏感元件、熱偶規管和測量（liàng）儀器組（zǔ）成。熱偶規管與被測真（zhēn）空係統相通，外殼為玻璃管，管內有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由於溫差效應，在回（huí）路（lù）中有熱電勢產生。如加（jiā）熱絲電壓保持恒定，則（zé）熱偶絲　　的電（diàn）勢限（xiàn）決於加（jiā）熱絲的溫度（dù），而加熱絲的溫度與被測（cè）氣體的壓強有關。壓強低，氣體熱導率小（xiǎo），被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲（sī）的熱電勢增大；反之，則（zé）熱電（diàn）勢減少。回路中的（de）熱電勢用毫伏（fú）表測量，表中的毫伏數即反映出真空

　　度的高低。為了保證（zhèng）加熱絲的電壓穩定，而接入了穩壓電源。所以測量儀器是（shì）由測量熱電勢的毫伏表和規管加熱絲穩（wěn）壓電源兩部分組成（chéng）。

　　（二）電離真空計

　　這種真空計主要（yào）用於（yú）測量高真空度（dù）。在低壓強氣體中，氣體（tǐ）分子被電離生成的正（zhèng）離子數與氣體壓強成正比按（àn）照離產生的方法不（bú）同（tóng），利用（yòng）熱陰極發射電子使氣體電離的真空計叫熱（rè）陰極電離真空計；其中，熱陰極電離真空計由熱陰極規管和測量（liàng）儀器組成。測量儀器由規管工作電源、發射（shè）電流穩壓器、離子流（liú）測量放大器等（děng）部分組成。熱陰極電離規管與被測真空係統相通。熱陰極電離規管（guǎn）是一個三極管，管內有陰極、柵及和收集極。收集極電位相（xiàng）對於陰（yīn）極電負電位（wèi）；柵極相對於陰極電正電位。當電離規管通電加熱後，陰極發射電子，在電子到達柵極的過程中（zhōng），與氣體分子碰撞而產生正離子和電子的電離現象。當發（fā）射電流一定時，正離子數日與被測氣體壓強成正（zhèng）比。正（zhèng）離（lí）子被收集極收集後，經測量電路放大，可由批示電表（biǎo）讀出所要測量的真空度。

　　（三）複合真空計

　　通常，對低（dī）真空和高真空的（de）測量不能用一種真空計來完（wán）成，而應采用複合真空計，應用較多的是電離與熱偶式（shì）複合真空計。它的測（cè）量範圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真（zhēn）空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空（kōng）；電離真空計測（cè）量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的（de）高真空。複合（hé）真空計附有一個熱偶（ǒu）規管、一個電離規（guī）管，分別接在真空係統上，通過旋鈕（niǔ）可分別給兩個（gè）規管加熱，並（bìng）選擇使用。


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