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關於潔淨室
潔淨室(Clean Room)，亦稱（chēng）無塵車間、無塵室或清淨室。潔淨室的主要功（gōng）能為室內汙染控製，沒有潔淨室，汙染敏感零件（jiàn）不可能批量生產。在（zài）FED-STD-2裏麵，潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其（qí）中（zhōng）特定的規則的操作程序以（yǐ）控製空氣懸浮微粒（lì）濃度，從而達到適當的（de）微粒潔淨（jìng）度（dù）級（jí）別。潔淨程度和（hé）控（kòng）製汙（wū）染的持續（xù）穩定性，是檢驗潔（jié）淨（jìng）室質量的核心標準，該（gāi）標準根（gēn）據區域環（huán）境、淨化程（chéng）度等因素，分為若幹等級，常用的有國際標準和國內區域行業標準，一些知名淨化工程公司，在通行標準之外（wài），還設有自身執行的高於國際化通行（háng）標準的淨化指標，淨化能力和環境適應力遠超國際品（pǐn）牌。
1簡介（jiè）
潔淨室是指將（jiāng）一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染（rǎn）物排除（chú），並（bìng）將室內之（zhī）溫度、潔淨度（dù）、室內壓力、氣流速度與（yǔ）氣流分布、噪音振動及（jí）照明、靜電控製（zhì）在某（mǒu）一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在（zài）之空氣條件（jiàn）如何變化，其室內均（jun1）能俱有維持原先所設定要求之潔（jié）淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔（jié）淨室最主要之作用在於控（kòng）製產品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好（hǎo）之環境空間（jiān）中生產、製造，此空間我們稱之為潔淨室。按（àn）照國際慣例，無塵淨化級別主（zhǔ）要是（shì）根（gēn）據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的（de）粒子數量來規定。也就是（shì）說所謂無（wú）塵並非100%沒有（yǒu）一點灰塵（chén），而是控（kòng）製在一個非常微量的單位上。當然這（zhè）個標準中符合（hé）灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微（wēi）乎其微，但是對（duì）於光學構（gòu）造而言，哪怕是一點點的灰塵都（dōu）會產生非（fēi）常大的負麵影響，所（suǒ）以在光學構造產品的生產上，無塵是必（bì）然的要（yào）求。
每立方米將小於0.3微米粒徑的微（wēi）塵數量控製（zhì）在3500個（gè）以（yǐ）下，就達到了（le）國際無塵（chén）標準的A級。芯片（piàn）級生產（chǎn）加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主（zhǔ）要被（bèi）應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微（wēi）塵數量（liàng）被嚴格控（kòng）製在每立方英寸1000個（gè）以內（nèi），這也就是業（yè）內俗稱的（de）1K級別。
空態：已經建造完成並可以投入使用的潔淨室（設（shè）施）。它具備（bèi）所有有關的服務（wù）和功能。但是，在設施內（nèi）沒有操作人員（yuán）操作的設備。
靜態：各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正（zhèng）在（zài）使用的潔淨（jìng）室（設（shè）施），但是設施內沒有操作人員。
動（dòng）態：處於正常使用的潔淨室，服務功（gōng）能完善，有設備和人員；如果需（xū）要，可從事正常（cháng）的工作。
單向流（層流）潔淨室原理
在潔淨室內，從送風口到回風口，氣流流經（jīng）途中的斷麵幾乎沒有什麽變化，加（jiā）上進風靜壓箱和高效過濾器的均壓均（jun1）流作用，全室斷麵上的流速比（bǐ）較均勻，而至少在工作（zuò）區內流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向流潔淨室的三大特點。這裏的流線單向平行（háng），是指時均流線彼此平行，方向（xiàng）單一。
單向流潔淨室的流態（tài）從雷諾數判斷是紊流的，所以所謂層流潔淨室的層流和流體力學上的層流是完全（quán）不同（tóng）的概念。因此，層流潔淨室這個名（míng）詞是不貼切的，國外某些（xiē）標準和文章也指出這一點，例如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔淨室定義為單向流潔淨室，隻（zhī）是照（zhào）顧習慣在（zài）括（kuò）號中（zhōng）注明為（wéi）層流（liú）。前聯邦德國標（biāo）準VDl- 2083則（zé）用“非紊流的置換流”這一術語，並在注中指出，層流這一概（gài）念隻是為了區別早於層流潔淨（jìng）室出現的紊（亂（luàn））流潔（jié）淨室（shì）而在當時采用的習慣用（yòng）語，“層流係統”的確切意思並不是分層流動，而（ér）是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流（liú）體力學中，這種流（liú）動狀態也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔淨技術措施》中選用了“平行流（liú）”這（zhè）個術語，在該術語後麵同時也指出習慣上稱“層流”。
在單向流潔（jié）淨室內，幹淨氣流不是一股或（huò）幾股，而（ér）是充滿全室斷麵，所以這種潔淨室不是靠潔淨氣流對室內髒空氣的摻混（hún）稀釋作用，而是靠潔淨氣流推出作用將室內髒空氣沿整個斷麵排至室外，達到淨化室（shì）內空氣的目的。所以，前聯邦德國有人稱單向流潔淨室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓（yā）的弱（ruò）空氣射流”。幹淨空氣就好比（bǐ）一個空氣活塞，沿（yán）著（zhe）房間這個“氣缸”，向前（下）推進，而使塵粒隻（zhī）能前（下）進（jìn），沒有返回，把原有的含塵（chén）濃度高的空氣擠壓出房（fáng）間。
在（zài）單向流潔淨室以及單向流淨化設備中，可以發現沿壁的和兩個過濾器搭接處下（xià）方的反向（xiàng）氣流。這種氣流將把下方的汙染傳輸到上部再送（sòng）下（xià）來，破壞了上述“活塞流”的狀態，危害極大（dà）。對（duì）於和外界有開口相通的局部淨化設備，例如（rú）潔淨工（gōng）作台，這種氣流將引射外界汙（wū）染氣（qì）流，在設計上一（yī）定要減小過濾器邊框處所占的無效麵積，更要設法使（shǐ）空（kōng）間的（de）壁（bì）麵盡量接近過濾器有效迭風截（jié）麵。
通過上麵分析，可以認為保證單向流潔（jié）淨（jìng）室特性（高潔淨度和快速自淨恢複能力）的重（chóng）要先決條件有兩個（gè）：①來流的潔淨度；②來流的活塞流情況；
對於來流的（de）潔淨度，對通（tōng）過高（gāo）效以上過濾器送風的單（dān）向流潔淨室來說是不成問題的，而對於（yú）來（lái）流的“活塞流”情況，則需作進～步分析。
根（gēn）據流體力學原理（lǐ），來流條（tiáo）件對以後（hòu）的流動狀況（kuàng）將有直接（jiē）的重要影響，送風麵出口氣流也就是工作區的來（lái）流（liú）。
來流（liú）的紊動性大，則將影響後麵的單向流特性；來流未充滿流動截麵，則（zé）將影響後麵是否能形成“活塞流”和形成的快慢；而來流未充滿流動（dòng）截麵也是（shì）來流素動的一個因素。所（suǒ）以，在采用高效過濾器的條件下（xià），保證（zhèng）單向流潔淨室特性的必要條件是“活塞流”，而“活塞流”的必要條件則是來流（liú）充滿流動截麵。但是，對一間（jiān）房間而不是一段管道來說，讓氣流（liú）從頭（tóu）至尾完全充滿流（liú）動截（jié）麵也是不現實的。
最初（chū），確實認為（wéi）這種單向平行的氣流應該充（chōng）滿整個潔淨室，但這在技術上和經濟上都（dōu）是不利的。隨著認識的發展，人們又指出這種單向流隻是“在有限的領域內全部空氣沿平行流線以等速流（liú）動的意思”，並認為能極力抑製渦流的發生。通過全空間的清潔空（kōng）氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間，也稱為單向流潔淨室。這就是說，不要求在（zài）整個房間都具有單向平行的流線，均勻的（de）速度，沒有渦流，而是隻要求單向平行流特性在這（zhè）個房間中占支配地位（wèi），例（lì）如（rú）在整個工（gōng）作區這一層空間保證了單向流（liú），這個房間就是單向流潔淨室。前麵介紹過的國內外有關（guān）標準、措施中關於單向流潔淨室達到的高潔淨度，就是指在工作區內達到的（de）潔淨度。因（yīn）此，密集布置的流線型（xíng）散流器頂送和全孔（kǒng）板頂送（sòng），也被作為實現（xiàn）垂直單向流的手段使用。
亂流原（yuán）理
潔淨室按其氣流狀態來區分，主要分（fèn）為亂流（非單向流）潔淨室（shì）、單向流潔淨室和輻流潔淨室（也有稱矢流潔淨室的），這一節主要討論亂流潔淨室。前麵（miàn）已經（jīng）指（zhǐ）出（chū），不（bú）論是哪一種潔淨室，都是紊流流（liú）態。那為什麽不都叫（jiào）紊流潔淨室呢？
亂（luàn）流（liú）潔淨室的名稱（chēng）是借用於日文，但是日（rì）文的（de）亂流就是紊流的意思，而中國最早在《空氣潔淨（jìng）技術措施》中正式采用的亂流一詞是（shì）兼有紊流（liú）的含（hán）義而不同於流體力學上的紊流這一專有名詞。國際上習慣稱這種潔淨室為非單向流潔（jié）淨室。
所謂亂流潔淨室（shì），一般包（bāo）括以下各種送風形式：
⑴高效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板
⑵流線型散流器頂進（jìn）
⑶局部孔板（bǎn）頂送
⑷側送（sòng）
具有這些送風形式的潔淨室（shì），如以（yǐ）雷諾數判斷，顯然屬（shǔ）於紊（wěn）流流態，但是如果把它們稱為紊流潔淨室就不（bú）合適。氣流沿整個頂棚下送，室內速度達（dá）到0.25m/s 以上，這種室內的流動狀（zhuàng）態也是紊（wěn）流（liú），但在後麵就會搞清楚，雖然這兩種送風方式都造成室內紊流流態，但是就其淨化室內空氣的（de）原（yuán）理來說，卻是根本不同的，後者屬於單向流或平行流潔淨室的淨化原理（lǐ）。所以如果（guǒ）把前（qián）者稱為紊流潔淨室（shì），則後者也應被包含進（jìn）去了（le）。
亂流潔淨（jìng）室的主要特點是從來流到出流（從送風口到（dào）回風口）之間氣流的流（liú）通（tōng）截麵（miàn）是變化的，潔淨室截麵比送風口截麵大得多，因（yīn）而不能在全室截麵或者（zhě）在（zài）全室工作區截麵形成勻速氣流（liú）。所以，送風口以後的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一（yī）方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產生（shēng）。這就決定亂流潔（jié）淨室的流態實質是：突變流；非均勻（yún）流。
這比用紊（wěn）流來描述亂流潔（jié）淨室更確（què）切、更全麵。紊（wěn）流主要決定於雷諾數，也就是主要受流（liú）速的影響，但（dàn）是如果采（cǎi）用一個高效過（guò）濾器頂送的（de）送風（fēng）形式（shì），則即（jí）使流速極（jí）低，也要產生上述各種結果，這就因為它是一個突變流和非均勻流（liú）。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混（hún），而（ér）且還有全室範（fàn）圍內的大的回流、旋渦（wō）所發（fā）生的摻混。
所以（yǐ），概括地（dì）說，亂流潔淨（jìng）室的作用原理是：當一股幹淨氣流從送風口送入室內時，迅速向四周擴散、混合，同時（shí）把（bǎ）差不多同樣數量的氣流從回風口排走，這股幹淨氣流（liú）稀釋著室內汙（wū）染的空氣，把原來含塵濃度很（hěn）高的室內空氣衝淡了，一直達到平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的效（xiào）果（guǒ）就越好。所以亂流（liú）潔淨室的原理就是稀釋作用。
2所需材料
潔淨（jìng）室（shì）在進行淨化工程施工的時候，需要用到以下（xià）設備：
A． 裝飾結構類：
1：潔淨室所需要的淨化（huà）設備主要有：風淋室貨淋室 層流罩（FFU）傳遞窗高效送風口（分為普通高效送（sòng）風口，一體化高效送風口，可更換濾網的高效送風口） 泄壓閥 風量調（diào）節閥（fá）等，潔淨室做好後有的局部淨化（huà）級別要求特（tè）別高，因此（cǐ）我們推薦客戶使用潔淨工（gōng）作台，潔淨（jìng）棚等淨化設（shè）備。
2：圍體結構彩（cǎi）鋼板（各種鋁型材 槽鋁 T型大梁鋁 角鋁 外形柱鋁 外圓片 三維接頭 門（mén）堵頭 內圓弧線 門料 窗料等） 輔助材料角鐵 圓鋼 膠塞 白功釘 拉爆鉤等）
B．空調通風部分：
1.空（kōng）調通風（fēng）部分主要材料有空調主機，送回風管，鍍鋅水管（或（huò）者PVC水管） 水塔 閘閥水泵 Y型過濾器 橡膠軟管 止回閥 水流開關 溫度計 壓力表 水過濾器 各種管碼
2：通（tōng）風部（bù）分（fèn）的主要材料（liào）有中效增壓箱（xiāng） 風閥 風量調節閥 初效防雨百葉 風回百葉 初效過濾器 中效過濾（lǜ）器 高效過（guò）濾器 層流罩（FFU） 保溫棉 保濕軟管 各種輔材
C． 電器部分：
1、空（kōng）調電路
2、淨化設（shè）備電路
3、照明電路
D． 地（dì）麵部分：
1、環氧樹脂地坪
2、PVC地板
3、高架地（dì）板地麵
3所（suǒ）需設備
風淋（lín）室
風淋室係列產品是一（yī）種通用性較強的局部淨化設備，安（ān）裝於潔（jié）淨室與非潔淨室之間。當人與貨物要進入潔淨區（qū）時（shí）需經風淋室吹淋，其吹出的潔淨空氣可去除人與（yǔ）貨物所攜帶的（de）塵埃，能有效（xiào）的（de）阻斷或減少塵源進入潔淨區。風淋室/貨淋室的前後（hòu）兩道（dào）門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未淨化的空氣進入潔淨區域。
貨淋室
貨淋室，固名思義，即為貨物專用的吹淋室，又（yòu）稱之為貨淋（lín）通道、貨淋門、廣泛適用於電子，食品、包裝企業的物流通道處，對即將（jiāng）進入（rù）潔淨車間進行操作（zuò）加工的貨物原材料及工具進行吹淋，達到過濾去除灰塵粒子，進入無塵（chén）車間（jiān）的原材料潔（jié）淨的效果.因每（měi）個企業（yè）物流通道（dào）的現場尺寸以及需要吹淋的貨物原（yuán）材料運（yùn）輸方式大小的（de）不同，故貨淋室沒有統一的標準，全部（bù）為非標產品。貨淋在（zài）功能上既有普通型貨淋室，又有紅外線語音提示型（xíng）貨淋室，還有（yǒu）自動移門（mén）式貨淋室。
傳（chuán）遞窗
傳遞窗主（zhǔ）要適用於潔淨區與非潔淨區之間（jiān），或潔（jié）淨室與潔淨室之間的小貨物傳遞，可有效的減少潔淨室門的開啟次數，把潔淨區（qū）的汙染減少（shǎo）的最低程度。根據使用要求，傳（chuán）遞（dì）窗箱體表麵可噴塑，內膽可用不鏽鋼，外表美觀。傳（chuán）遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機械連鎖裝置，可有（yǒu）效的防止低潔淨等級區（qū）內的灰塵帶入高（gāo）潔（jié）淨區內（nèi），是淨化車（chē）間必備佳品。
高效送風口
本（běn）產品為萬級，十萬級亂（luàn）流潔淨室新建（jiàn），改建工程淨化（huà）空調係統終端送（sòng）風裝置。可廣（guǎng）泛應（yīng）用與電子工業，精密機械，冶金，化工等工業及醫療，製藥，食品等（děng）部門的淨化空（kōng）調係統。本裝置主要由靜壓箱，高（gāo）效過濾器，鋁（lǚ）合金擴散板，標準法蘭（lán）接口等組成，造型美觀，結構簡單，使用可（kě）靠。 本送風口為下裝（zhuāng）式，具有在潔淨室內安裝（zhuāng）和更換過濾（lǜ）器方便的優點，高效過濾器采用（yòng）機械壓緊（jǐn）或液槽密（mì）封裝置，確保風口安裝（zhuāng）無泄露，密封可靠，淨化效果好，對一（yī）般淨化（huà）工程均可（kě）適用（yòng）。
潔淨工（gōng）作台
無塵車間內的潔淨工作台可根據產品要求（qiú）或其他用途的要求，在（zài）操作台上保持高潔淨度的局部淨化。潔淨工作台可以在操作台的局部空（kōng）間形成無（wú）菌、無塵的局部（bù）淨化，其主要組成部件有預過濾器、高效過濾器、風機機組、外殼、靜壓箱、台麵和配套（tào）的（de）電器元器（qì）件（jiàn）等。
無塵（chén）車間的潔淨工作台的構造要求：台麵，采用木質塑料貼麵貼於層壓板上做成台麵，或采用（yòng）不鏽鋼做台麵；箱體，用熱紮薄鋼板與骨架氣焊（hàn）易變形，可（kě）采（cǎi）用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內表麵需粘（zhān）貼消聲材（cái）料，最大尺寸應以通過一般房門為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封膠密封；操作區截麵應（yīng）盡可能與空氣過濾器送風截（jié）麵相同，盡量減少盲區；風機、電機，選（xuǎn）用高壓低噪的小型風（fēng）機，風（fēng）機與箱體的連接采用軟連（lián）接，電機及風機均應采取減振（zhèn）措施；燈罩，日光燈要（yào）盡量設置在燈罩內，燈罩（zhào）內要（yào）通過潔淨氣流；預過濾器，須設置預過濾器，容量要大，在使用風量下，初阻力宜小於50Pa；高效過濾器，盡量采用大麵積的（de）過濾器，減少空氣過濾器的數量，過濾器與框架之間的密（mì）封（fēng）應采用封導結合的雙環密封係統。
FFU風機過濾單元
風機過濾（lǜ）單元（FFU）是一種空氣自淨裝置，可室（shì）內吊頂安裝或（huò）放（fàng）置在支架上，使局部級別達到百級。也可用於潔淨室末端送風。該產品設有初、高效兩級過濾裝置。風機從頂部將空氣（qì）吸入並經初、高效過濾器過濾，過濾後的（de）潔淨（jìng）空氣在整個出風口送出。安裝方式有懸掛式和落地支架兩種。
風機從FFU頂部將空氣吸入並經初、高效過（guò）濾器過（guò）濾，過濾後的潔淨空氣在（zài）整個出風麵以0.45M/S±20%的風速勻（yún）速送出。它為（wéi）不同尺寸大小（xiǎo），不（bú）同潔淨度等級的潔淨室、微環境提供高（gāo）質量的潔淨（jìng）空氣。在新建（jiàn）潔淨室、潔淨廠房式改造翻（fān）新中，即可提高（gāo）潔淨（jìng）度級別，降低噪音和（hé）振動，也可大（dà）大降低造價，安裝（zhuāng）維護方便，是潔淨環境的理想部件。
層流（liú）罩
層流罩一種可提供局部高清潔環境的空氣淨化設（shè）備。它主要有箱體，風機，初效空氣過濾器，高效空氣過濾器。阻尼層，燈（dēng）具等組成，箱（xiāng）體噴塑（sù）或采用不鏽鋼材料。該產品即可以懸掛（guà），又可地麵支撐，結構緊湊，使用方便。可以單個使用，也（yě）可多個聯接組成帶狀潔（jié）淨區域。廣泛用於精密（mì）機械，電子，製藥，食品（pǐn），精（jīng）細化工等部門。
4控管項目
1、能除（chú）去空氣中飄遊之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產生。
3、溫度和濕度之（zhī）控製。
4、壓力之調節。
5、 有害氣體之排除。
6、結（jié）構物與隔間之（zhī）氣密性。
7、靜電之（zhī）防製。
8、電磁（cí）幹擾預防。
9、安（ān）全因素之考（kǎo）慮。
10、節能之考量。
5淨化方法
空氣淨化方法（fǎ）
1 、整體淨化：可分為層流型和湍（tuān）流型。層流是指空氣由（yóu）一側全（quán）麵地以同速流向另一側，使室內產生的（de）塵粒或細菌不會向四（sì）周擴散（sàn）而被（bèi）平推出室（shì）外，而達到好的除菌效果。
⑴高效過濾除菌技術：空氣潔淨主要（yào）靠高效或超高效過（guò）濾設備，向特定（dìng）的環境內輸（shū）送潔淨空氣並能保持空氣的潔淨度。過濾潔淨原理：①網截阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留（liú）；④慣性碰撞和布朗運動阻留。因此，過濾潔淨技術是一種（zhǒng）綜合作用的結果。
⑵濾材結構：生物（wù）潔淨室所（suǒ）用濾材級別多數為高效或超（chāo）高（gāo）效濾材，所用濾材有：玻璃棉製濾材、高（gāo）級紙漿製濾材、石棉纖維濾材、過氯乙烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以（yǐ）上。
2 、局部淨化
⑴潔淨層流罩（zhào）：潔淨層（céng）流罩是醫（yī）院局部空氣淨化裝置。一（yī）般可構成垂直層流方（fāng）式，四周用（yòng）透明圍幕。整個罩內可保持高潔淨度（萬級至（zhì）百級）空（kōng）氣。這種潔淨層流罩（zhào）可用於（yú）免（miǎn）疫功能低下（xià）病人的治療（liáo）保（bǎo）護，所以也稱無菌病床層流（liú）罩。
⑵淨化操作台：采用水平（píng）或垂直（zhí）層流方式淨化箱體內的（de）空氣，可（kě）使操作台內（nèi）淨化達到很高級別。
⑶靜電吸附除（chú）菌淨化技術（shù）：靜電吸附除菌是利用工業（yè）電除塵的原理（lǐ），在小（xiǎo）型化技術方麵有所創新。①采用細（xì）線放電極與蜂巢狀鋁箱（xiāng）收集極形成級線裝置；②采用鏡象力荷電吸附作用。
目前有一種三級淨化裝置，即預過濾（lǜ） - 高效過濾 - 活性炭吸附，組合式正離（lí）子靜電吸附除菌，並采用大風量空氣淨化，以保證室內空氣淨化次數，較（jiào）好地解決了醫院重點部（bù）門如手術室、 ICU 、母嬰病（bìng）房、血液透析室等有人情況下的空氣持續消毒問題，可使醫（yī）院室內（nèi）空氣的淨化潔淨度達（dá）到（dào） 10 萬級 ~1 萬級。
⑷負離子淨化技術：負離子是一種帶負電的化（huà）學（xué）基團，能發生可逆（nì）性變化，存在（zài）時間極短，本身並（bìng）無殺滅微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結合，形成多個顆粒（lì）凝聚變大從而迅速沉降，使空氣達到淨化的目的。空氣中負離子隻有在具備某些化學性質時，如活（huó）性氧（yǎng）離子等，它們才具有（yǒu）侵害蛋白質的能力從而殺滅微生物，因此負（fù）離子對空氣淨化的能力比（bǐ）較有限，對空（kōng）氣中微生物粒子清除率隻能（néng）達（dá）到 70%~90%。
6工作方式
亂流（liú）式
空氣（qì）由空調箱經（jīng）風管與潔淨室內之空氣過濾器（HEPA)進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回（huí）風。氣（qì）流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。
定義：氣流以不（bú）均勻速度不平行流（liú）動、伴有回流或渦流的潔淨室。
特性：亂（luàn）流潔淨室是靠多次換氣來實現潔（jié）淨與潔淨級別（bié）。換氣次數決定定義（yì）中的淨化級別（換氣次數越多，淨化級別越高）
⑴自淨時間：是指潔淨室按設計換氣次數（shù）開始送風到潔淨室，室內含塵濃度達到所設計的淨化級別（bié）的時間。1,000級希（xī）望不超過20min（分鍾（zhōng）） （可取15min計算） 10,000級希（xī）望不超過30min（分鍾） （可取25min計算） 100,000級希望不（bú）超過40min（分鍾（zhōng）） （可取30min計算）
⑵換氣次數（按上述自淨（jìng）時間要求設計）1,000級（jí） 43.5—55.3次/小時 （規範：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次（cì）/小（xiǎo）時 （規範：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規範：15次/小時）
優點：構造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴充（chōng）比較容易，在某些特殊用途場所，可並用無（wú）塵工作台，提高潔淨室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒（lì）子於室內空（kōng）間飄浮不易排（pái）出（chū），易汙（wū）染製程產品。另（lìng）外若係統停止運（yùn）轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時（shí）相當長一段時間。
層流式
層流式空氣氣流運（yùn）動成一均（jun1）勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進（jìn）入室內，並由高架地（dì）板或兩側隔牆板回風，此型式適用於潔淨室等級需定較高之環境使用，一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型（xíng）式可分為二（èr）種：
⑴水平層流（liú）式：水（shuǐ）平式空氣自過濾器單方向吹出（chū），由對邊牆（qiáng）壁之回風係統回風，塵埃（āi）隨（suí）風向排（pái）出室外，一般在下流側汙染較嚴重。
優（yōu）點：構造（zào）簡單，運（yùn）轉後短時間內即（jí）可變成穩定。
缺點：建造（zào）費用比（bǐ）亂流式高，室內空（kōng）間不易擴充。
⑵垂（chuí）直層流式：房（fáng）間天花（huā）板完全以（yǐ）ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨（jìng）度，在製程中（zhōng）或（huò）工作人員所產（chǎn）生的塵埃可（kě）快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優（yōu）點：管（guǎn）理容易，運轉（zhuǎn）開始短時（shí）間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費（fèi）用較（jiào）高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換（huàn）過濾器較麻煩。
複合式
複合式為將亂流式及層流式予以複合或（huò）並用，可提供局部超潔淨（jìng）之（zhī）空氣。
⑴潔淨隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔（jié）淨度等（děng）級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。
此型式需將作業人（rén）員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質（zhì），ULSI製（zhì）程大都采用此種型式。
潔淨隧道另有二項優點（diǎn）：A.彈性擴充容易； B.維修設備時（shí）可在維修區輕易執行。
⑵潔淨管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包圍並淨（jìng）化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到（dào）良好之潔淨度，可節省能（néng）源，不（bú）需人工（gōng）的自動化生產線為最適宜使（shǐ）用。藥品、食品（pǐn）業界及半導體業界均適用。
⑶並裝局部潔（jié）淨室（Clean Spot）：將潔淨室等（děng）級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨（jìng）風櫃即屬此類。
潔淨工作台：等級Class 1~100級。
潔淨工作棚：為在亂流式之潔淨室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨（dú）立之HEPA或ULPA及空調送風機（jī）組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為10~1000級，高（gāo）度（dù）在2.5米左右，覆蓋麵積（jī）約10m2以下，四支支柱並加裝（zhuāng）活動輪，可為彈（dàn）性運用。
7風速控製
潔淨（jìng）室（shì）內的氣流是左右潔淨（jìng）室性能的重要因（yīn）素，一般（bān）潔淨室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器（qì）等的動作而（ér）幹擾（rǎo）趨於混亂、雖提高風（fēng）速可（kě）抑製此一擾亂之影響而（ér）保持潔淨度（dù）、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求（qiú）的潔淨度水準之時，能以最適當的（de）風速供應，以達到（dào）適當（dāng）的風速供應以（yǐ）達到經（jīng）濟性效果。
另一方麵欲達到潔淨室潔淨（jìng）度之（zhī）穩定效果，均（jun1）一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保（bǎo）持，表示風（fēng）速有異，特別是在壁麵，氣流會延著壁麵發生渦流作用，此時要實現高潔淨度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出麵的風速（sù）不可有速度上的差異；（b）地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之（zhī）速（sù）度，氣流則較均一，一般潔淨室，其風（fēng）速均取在0.25~0.5m/s之間。
8影（yǐng）響（xiǎng）因素
影響潔淨室的氣（qì）流因素很多，如製程設（shè）備、人員（yuán）、潔淨室組裝材、照明器具等，同時（shí）對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
一般操作台或生產設備等表麵的（de）氣（qì）流分（fèn）流點（diǎn），應設於潔淨室空間與隔牆板間（jiān）距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從（cóng）製程區內部（bù）流向（xiàng）作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程（chéng）區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將（jiāng）流至製程（chéng）區之後，作業員操作所引起的塵埃（āi）將被帶到（dào）設備後麵，工作台因而將受到汙（wū）染，良率也勢必降低。
潔淨室內的工作桌（zhuō）等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相（xiàng）對地在其附近之潔淨（jìng）度將會較差，在（zài）工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減少最（zuì）低；組（zǔ）裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣（qì）流是否成為渦流現象之重要因素。
潔淨（jìng）室的構成是由下列各項係統所組成（在所組（zǔ）成的係統（tǒng）分（fèn）子中（zhōng）是缺一不（bú）可（kě）的），否則將無法構成（chéng）一完整且品質良好的潔淨室：
⑴天花板係統：包括吊杆（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或（huò）U-Beam）、天花板格子（zǐ）梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。
⑵空調（diào）係統：包括空氣艙、過濾器係統、風車等。
⑶隔牆板（Partitional wall）：包括窗戶、門。
⑷地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
⑸照明器具：包括日光（guāng）燈、黃色燈管等。
潔淨（jìng）室之建築主（zhǔ）體構造，一般是用鋼（gāng）筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：
●不會因溫度變化與振動而發（fā）生裂痕；
●不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；
●吸濕性小；
●為了維持室內之濕（shī）度（dù）條件，熱絕緣性要高（gāo）。
9重（chóng）要性
潔淨室的潔淨度往往受（shòu）到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產生的塵埃之移動、擴散受（shòu）到氣流的支配。
潔淨室（shì）係（xì）利用HEPA、ULPA過濾空（kōng）氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過（guò）濾（lǜ）的空氣可說（shuō）十分幹淨。然而潔淨室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的（de）塵埃一旦擴散，即無法保持潔淨空（kōng）間，因此必（bì）須利（lì）用氣（qì）流（liú）將發生的塵埃迅速排出（chū）室外。
10應用領域（yù）
工業
以無生命微粒的控製為對象。主要控製空氣（qì）塵埃微（wēi）粒對工作對象的汙染，內（nèi）部一般保持正壓狀態。它適（shì）用（yòng）於（yú）精密機械（xiè）工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇（yǔ）航工業、高純（chún）度化（huà）學工業、原子能工業、光磁（cí）產品工業（光盤、膠片、磁帶（dài）生產）LCD（液晶玻璃）、電腦（nǎo）硬盤、電腦磁頭生（shēng）產等多行業。
生物
主要（yào）控製有生命（mìng）微粒（lì）（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的汙染。又可（kě）分為：
A、 一般生物潔淨室：主要控製微生物（細菌）對象的汙染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料（liào）要能經受各種滅菌處理的工業潔（jié）淨室。例：製藥工業、醫院（手術（shù）室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全潔淨室：主要控（kòng）製工作對（duì）象的有生命微粒對外界和人的（de）汙染。內部要保持與大（dà）氣的負（fù）壓。例：細菌學、生物學、潔（jié）淨實驗室、物物（wù）工程（重組基因、疫苗製備）。
相（xiàng）關知識
11工作量
發塵量
潔淨室內的發塵量，來自設備的可考慮通（tōng）過局（jú）部排風排除，不流入室內（nèi）；產品，材料等（děng）在運送過程中的發塵與人體發塵量相比，一般極小，可忽略；由於金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建築表麵的（de）發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要來自人，占90%左（zuǒ）右。在人的發塵量（liàng）上，由於（yú）服（fú）裝材料和樣式的改進，發塵絕對量也不斷減少。
A、材質：棉質發塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發塵量最大，上下分裝型次之，全罩型（xíng）最少。
C、活動：動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍。
D、清洗：用（yòng）溶劑洗滌的發塵量降（jiàng）至（zhì）用一般水清洗（xǐ）的五分之一。
室內維護結構表麵發塵量，以地麵為準，大約相應8平方米地麵（miàn）時的表麵發塵量與一個靜止的人的發塵量相（xiàng）當。
發菌量
工作人（rén）員產生的汙染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鍾脫落約1000片皮膚（fū）（平均大小為30*60*3微米）
2）頭（tóu）發：人（rén）類的頭發（直（zhí）徑約為50~100微米（mǐ））一直（zhí）在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖（xiān）維、矽土、纖（xiān）維（wéi）素、各種化學（xué）品和細菌。
5）人類（lèi）靜止和坐立每分鍾將產生10000個大於0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀幹做動作時每分鍾（zhōng）將產生1000000個大（dà）於（yú）0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鍾將產生5000000個大於0.3微米的微粒。
分析國外試驗資料可以認為：
⑴ 潔淨室內當工作人員（yuán）穿（chuān）無菌（jun1）服時：
靜止時的發菌量一般為10-300個/min.人
軀體一般活動時的發菌量為 150-1000個（gè）/min.人
快步行走時的發菌量為 900-2500個/min.人（rén）
⑵ 咳嗽（sòu）一次一般為 70~700個/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿平常（cháng）衣服（fú）時發菌量 3300~62000個（gè）/ min.人
⑷ 無口罩發菌量：有口罩發（fā）菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據國內事例：
⑹ 手（shǒu）術（shù）中人員發菌量 878個/ min.人
所以，可知潔淨室內無菌衣人員的靜態發菌量一般不（bú）超過300個/ min.人，動態發菌量一般不超過（guò）1000個/ min/人，以此作為計（jì）算依（yī）據是可行的。
12執行標準
國內標準
⑴.潔淨廠房設計規範（fàn） GB50073-2001
⑵.醫院潔淨手術部建築技術規範GB50333-2002
⑶.醫藥工業潔（jié）淨廠（chǎng）房設計規範GB 50457-2008
⑷.傳染病醫院建築設計規範
⑸.醫藥工業潔（jié）淨室（區）懸浮粒子的測試方（fāng）法GB/T16292-1996
⑹.QS認證質量手（shǒu）冊
⑺.GMP藥品生產質（zhì）量管理規範
⑻. 潔淨室（shì）施工及驗收規範GB 5091-2010
際標準
ISO係列
⑴ISO14644-1空氣潔淨度等級劃分（fèn）
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的相符性的測試（shì）和監測（cè）技術（shù）要求
⑶ISO14644-3 測試方法
⑷ISO14644-4 設計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（Operations)
⑹ISO14644-6 術語和定義
⑺ISO14644-7 分（fèn）離裝置（潔淨空氣罩、手（shǒu）套箱、分離器和微循環設備（bèi）
⑻ISO14644-8 分（fèn）子汙染
⑼ISO14644-9 潔淨化學品（液體）
IEST係列
潔淨空（kōng）氣：
RP-CC001高效與超高效過濾器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔（jié）淨室測試RP-CC007超高效過濾器測試
RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC021高效與超高效過濾器（qì）過濾器介（jiè）質（zhì）測試
RP-CC034高效與超高（gāo）效過濾器過濾器檢漏
潔淨（jìng）室與潔淨環境：
RP-CC006潔淨室測試
RP-CC012潔淨室設計要點
RP-CC016潔淨室非揮發性殘留物質的沉積率
RP-CC018潔淨室管理運行與檢測程序
RP-CC022潔淨室與受控環境中（zhōng）的靜電
RP-CC023潔淨室中的微生物
RP-CC024微電子設備震動測量與說明
RP-CC026潔淨室運行
RP-CC027潔（jié）淨室與受控環境中人員與行為
特殊應用（yòng）：
RP-CC029使用噴漆器要考（kǎo）慮的汙染（rǎn）控（kòng）製因素
運行保障：
RP-CC003淨室與受控環境的服裝係統要點
RP-CC004淨室與受控環境用抹布材料評估
RP-CC005淨室與受控環境用手套和指套
RP-CC020潔淨室文（wén）件材料與格式
設備：
RP-CC002單向（xiàng）流裝置
RP-CC013設備校準與檢驗程（chéng）序
RP-CC015潔淨室（shì）生產設備與（yǔ）輔助設備
術語：
RP-CC011汙染控（kòng）製領域術語和定義
文獻：
RP-CC009汙染控製領（lǐng）域的（de）標準、準則、方法與相關文件（jiàn）概覽
詳細參數
潔淨標準與（yǔ）潔淨等級 (ISO 國際標準（zhǔn））
各粒（lì）徑（jìng）檔最大容許粒子濃度 （顆/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1，
4 10，000 2，370 1，020 32 83
5 100，000 23，700 10，
6 1，000，000 237，000 102
空氣潔淨度應按下表規定（dìng）劃分為（wéi）四個等級。
空氣潔淨度等（děng）級表
等級
每立方米（mǐ）（每升）空氣中
≥0.5微米（mǐ）塵粒數
每立方米（mǐ）（每升）空氣中
≥5微米塵粒數
100級
≤35×100(3.5)
1000級
≤35×1000(35)
≤2500(0.25)
10000級
≤35×10000(350)
≤25000(2.5)
100000級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注：對（duì）於空氣潔（jié）淨度（dù）為100級的（de）潔淨室內大於等於5微米塵粒的計（jì）算應進行多次采樣。當其多（duō）次出現時，方可認為（wéi）該測試數（shù）值是可*的。
13應用範圍
淨化工程是一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業，在電（diàn）子信息、半導體、光電（diàn）子、精密製造、醫藥衛生、生物工（gōng）程、航天航空、汽車噴塗等眾多行業均有應用，並根據行業的精密與無塵要求，等級差別也較大（dà）。
目前（qián）級別最高的當屬航天航空的（de）航空倉，基本是屬於1級，屬於特殊領域，麵積相對較小。
另外對級別要求較高的是（shì）生（shēng）物化學實（shí）驗室和高精納米材料（liào）生產車間，互聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。
14八（bā）大特點
第一點，采用更適合（hé）潔淨室原理的圓弧轉角；
第二點，係（xì）統自動控（kòng）製運行，雙門（mén）電子互鎖，並設有光電感應器，單向（xiàng）通道風淋室，從非潔（jié）淨區（qū）進（jìn）入（rù），關（guān）門後紅外線感應有人就（jiù）吹（chuī）淋，吹淋後（hòu）入門鎖閉，隻能從出門走出風淋室；
第三點，整體冷軋鋼板（bǎn）製作，外表麵靜電噴塑處理；
第四點，門、底板、噴嘴均采用不鏽鋼製造，美觀大方；
第五點，軟（ruǎn）鍵觸按式時間繼電器，LED顯示及設置（zhì）吹淋時間，範圍（wéi）在（zài）10-99s可調，吹淋時雙門自動鎖閉；
第六點，采用（yòng）初、高效兩級過濾係統，有隔板高效過濾（lǜ）器，過濾效率為：99.99%，確保淨化級別；
第七點（diǎn），風嘴出風口風速高達25m/s以上（shàng），吹到人體上（shàng）風速18m/s以上；
第八點，采用EVA密封材料，密閉性能高。
15人員規範
為了避（bì）免（miǎn）和（hé）減少（shǎo）潔淨室（shì）從業人（rén）員對潔淨（jìng）室造成的汙染。任何潔淨室工作以外的人員，在（zài）與潔（jié）淨室工作人員（yuán）捷星接觸談話時，要將自（zì）己背對過去，因為口鼻會向注視的（de）方興散發汙染。
做到口鼻不對潔淨室的工作區。
如果出現咳嗽或者（zhě）打噴嚏的情（qíng）況，要做到背對潔淨室的工作區用手（shǒu）套掩住（zhù），然後及時更換手套。情況嚴重的者應立即離開潔淨室區域，並向領導報告。
潔淨（jìng）室內不（bú）得放置於（yú）潔淨室工作無關的物品。潔淨室（shì）工作物品要排放有序。
當設（shè）備（bèi）不能正（zhèng）常（cháng）運轉的時候，不要（yào）私自維修，要向領導（dǎo）報告（gào），等專業人員對潔（jié）淨室進行維修。
另外，由於潔淨室對（duì）潔淨度有著過高的要求。因此，對潔（jié）淨室的工作人（rén）員的身（shēn）體（tǐ）方麵的狀況要求（qiú）是很嚴格的。
患（huàn）有呼吸（xī）道（dào）疾（jí）病的人，由於（yú）會對潔淨室的空氣造成汙染，故不能進入潔淨室（shì）工作
患有結膜炎（yán）或（huò）者其他產（chǎn）生分泌物的（de）病症（zhèng），或者患有皮膚類疾病的人員（yuán）都是不適合在潔淨室工（gōng）作的。
另外需要注意的，潔（jié）淨室的工作人員要對自己的口（kǒu）腔衛生，保持注意。潔淨（jìng）室工作人員要定期的進行身體健康狀況（kuàng）的檢查
16運行節能（néng）
●潔淨室送風、排風、新風之間應切換自如，如生（shēng）產停止、排風櫃也應停止或減（jiǎn）小風量，新風也應調小。
●工藝並（bìng）非（fēi）絕對（duì）要求值班風機（jī）運行保護（hù）的（de），應采用提（tí）前開（kāi）機（jī）自淨的（de）辦法。
●潔（jié）淨室通風機轉速使其壓（yā）頭可以控製，不（bú）要總處於最大壓頭或最（zuì）大風（fēng）量運行的工況。
●運行應最大限度地利（lì）用（yòng）室外空氣（qì）冷卻作用，並在此時（shí）增大新風比。
●潔淨室應根據（jù）室（shì）外（wài）氣象條件變化，通過自控或手控即能調整設備出力。
●縮小潔淨空間體積，如潔淨隧道或隧道式潔淨室，根據生產要求把潔淨空間劃分為潔淨度級別不同的工藝區、操作區、維修區和通道區。
潔淨室(Clean Room)，亦稱（chēng）無塵車間、無塵室或清淨室。潔淨室的主要功（gōng）能為室內汙染控製，沒有潔淨室，汙染敏感零件（jiàn）不可能批量生產。在（zài）FED-STD-2裏麵，潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其（qí）中（zhōng）特定的規則的操作程序以（yǐ）控製空氣懸浮微粒（lì）濃度，從而達到適當的（de）微粒潔淨（jìng）度（dù）級（jí）別。潔淨程度和（hé）控（kòng）製汙（wū）染的持續（xù）穩定性，是檢驗潔（jié）淨（jìng）室質量的核心標準，該（gāi）標準根（gēn）據區域環（huán）境、淨化程（chéng）度等因素，分為若幹等級，常用的有國際標準和國內區域行業標準，一些知名淨化工程公司，在通行標準之外（wài），還設有自身執行的高於國際化通行（háng）標準的淨化指標，淨化能力和環境適應力遠超國際品（pǐn）牌。
1簡介（jiè）
潔淨室是指將（jiāng）一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染（rǎn）物排除（chú），並（bìng）將室內之（zhī）溫度、潔淨度（dù）、室內壓力、氣流速度與（yǔ）氣流分布、噪音振動及（jí）照明、靜電控製（zhì）在某（mǒu）一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在（zài）之空氣條件（jiàn）如何變化，其室內均（jun1）能俱有維持原先所設定要求之潔（jié）淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔（jié）淨室最主要之作用在於控（kòng）製產品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好（hǎo）之環境空間（jiān）中生產、製造，此空間我們稱之為潔淨室。按（àn）照國際慣例，無塵淨化級別主（zhǔ）要是（shì）根（gēn）據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的（de）粒子數量來規定。也就是（shì）說所謂無（wú）塵並非100%沒有（yǒu）一點灰塵（chén），而是控（kòng）製在一個非常微量的單位上。當然這（zhè）個標準中符合（hé）灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微（wēi）乎其微，但是對（duì）於光學構（gòu）造而言，哪怕是一點點的灰塵都（dōu）會產生非（fēi）常大的負麵影響，所（suǒ）以在光學構造產品的生產上，無塵是必（bì）然的要（yào）求。
每立方米將小於0.3微米粒徑的微（wēi）塵數量控製（zhì）在3500個（gè）以（yǐ）下，就達到了（le）國際無塵（chén）標準的A級。芯片（piàn）級生產（chǎn）加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主（zhǔ）要被（bèi）應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微（wēi）塵數量（liàng）被嚴格控（kòng）製在每立方英寸1000個（gè）以內（nèi），這也就是業（yè）內俗稱的（de）1K級別。
空態：已經建造完成並可以投入使用的潔淨室（設（shè）施）。它具備（bèi）所有有關的服務（wù）和功能。但是，在設施內（nèi）沒有操作人員（yuán）操作的設備。
靜態：各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正（zhèng）在（zài）使用的潔淨（jìng）室（設（shè）施），但是設施內沒有操作人員。
動（dòng）態：處於正常使用的潔淨室，服務功（gōng）能完善，有設備和人員；如果需（xū）要，可從事正常（cháng）的工作。
單向流（層流）潔淨室原理
在潔淨室內，從送風口到回風口，氣流流經（jīng）途中的斷麵幾乎沒有什麽變化，加（jiā）上進風靜壓箱和高效過濾器的均壓均（jun1）流作用，全室斷麵上的流速比（bǐ）較均勻，而至少在工作（zuò）區內流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向流潔淨室的三大特點。這裏的流線單向平行（háng），是指時均流線彼此平行，方向（xiàng）單一。
單向流潔淨室的流態（tài）從雷諾數判斷是紊流的，所以所謂層流潔淨室的層流和流體力學上的層流是完全（quán）不同（tóng）的概念。因此，層流潔淨室這個名（míng）詞是不貼切的，國外某些（xiē）標準和文章也指出這一點，例如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔淨室定義為單向流潔淨室，隻（zhī）是照（zhào）顧習慣在（zài）括（kuò）號中（zhōng）注明為（wéi）層流（liú）。前聯邦德國標（biāo）準VDl- 2083則（zé）用“非紊流的置換流”這一術語，並在注中指出，層流這一概（gài）念隻是為了區別早於層流潔淨（jìng）室出現的紊（亂（luàn））流潔（jié）淨室（shì）而在當時采用的習慣用（yòng）語，“層流係統”的確切意思並不是分層流動，而（ér）是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流（liú）體力學中，這種流（liú）動狀態也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔淨技術措施》中選用了“平行流（liú）”這（zhè）個術語，在該術語後麵同時也指出習慣上稱“層流”。
在單向流潔（jié）淨室內，幹淨氣流不是一股或（huò）幾股，而（ér）是充滿全室斷麵，所以這種潔淨室不是靠潔淨氣流對室內髒空氣的摻混（hún）稀釋作用，而是靠潔淨氣流推出作用將室內髒空氣沿整個斷麵排至室外，達到淨化室（shì）內空氣的目的。所以，前聯邦德國有人稱單向流潔淨室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓（yā）的弱（ruò）空氣射流”。幹淨空氣就好比（bǐ）一個空氣活塞，沿（yán）著（zhe）房間這個“氣缸”，向前（下）推進，而使塵粒隻（zhī）能前（下）進（jìn），沒有返回，把原有的含塵（chén）濃度高的空氣擠壓出房（fáng）間。
在（zài）單向流潔淨室以及單向流淨化設備中，可以發現沿壁的和兩個過濾器搭接處下（xià）方的反向（xiàng）氣流。這種氣流將把下方的汙染傳輸到上部再送（sòng）下（xià）來，破壞了上述“活塞流”的狀態，危害極大（dà）。對（duì）於和外界有開口相通的局部淨化設備，例如（rú）潔淨工（gōng）作台，這種氣流將引射外界汙（wū）染氣（qì）流，在設計上一（yī）定要減小過濾器邊框處所占的無效麵積，更要設法使（shǐ）空（kōng）間的（de）壁（bì）麵盡量接近過濾器有效迭風截（jié）麵。
通過上麵分析，可以認為保證單向流潔（jié）淨（jìng）室特性（高潔淨度和快速自淨恢複能力）的重（chóng）要先決條件有兩個（gè）：①來流的潔淨度；②來流的活塞流情況；
對於來流的（de）潔淨度，對通（tōng）過高（gāo）效以上過濾器送風的單（dān）向流潔淨室來說是不成問題的，而對於（yú）來（lái）流的“活塞流”情況，則需作進～步分析。
根（gēn）據流體力學原理（lǐ），來流條（tiáo）件對以後（hòu）的流動狀況（kuàng）將有直接（jiē）的重要影響，送風麵出口氣流也就是工作區的來（lái）流（liú）。
來流（liú）的紊動性大，則將影響後麵的單向流特性；來流未充滿流動截麵，則（zé）將影響後麵是否能形成“活塞流”和形成的快慢；而來流未充滿流動（dòng）截麵也是（shì）來流素動的一個因素。所（suǒ）以，在采用高效過濾器的條件下（xià），保證（zhèng）單向流潔淨室特性的必要條件是“活塞流”，而“活塞流”的必要條件則是來流（liú）充滿流動截麵。但是，對一間（jiān）房間而不是一段管道來說，讓氣流（liú）從頭（tóu）至尾完全充滿流（liú）動截（jié）麵也是不現實的。
最初（chū），確實認為（wéi）這種單向平行的氣流應該充（chōng）滿整個潔淨室，但這在技術上和經濟上都（dōu）是不利的。隨著認識的發展，人們又指出這種單向流隻是“在有限的領域內全部空氣沿平行流線以等速流（liú）動的意思”，並認為能極力抑製渦流的發生。通過全空間的清潔空（kōng）氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間，也稱為單向流潔淨室。這就是說，不要求在（zài）整個房間都具有單向平行的流線，均勻的（de）速度，沒有渦流，而是隻要求單向平行流特性在這（zhè）個房間中占支配地位（wèi），例（lì）如（rú）在整個工（gōng）作區這一層空間保證了單向流（liú），這個房間就是單向流潔淨室。前麵介紹過的國內外有關（guān）標準、措施中關於單向流潔淨室達到的高潔淨度，就是指在工作區內達到的（de）潔淨度。因（yīn）此，密集布置的流線型（xíng）散流器頂送和全孔（kǒng）板頂送（sòng），也被作為實現（xiàn）垂直單向流的手段使用。
亂流原（yuán）理
潔淨室按其氣流狀態來區分，主要分（fèn）為亂流（非單向流）潔淨室（shì）、單向流潔淨室和輻流潔淨室（也有稱矢流潔淨室的），這一節主要討論亂流潔淨室。前麵（miàn）已經（jīng）指（zhǐ）出（chū），不（bú）論是哪一種潔淨室，都是紊流流（liú）態。那為什麽不都叫（jiào）紊流潔淨室呢？
亂（luàn）流（liú）潔淨室的名稱（chēng）是借用於日文，但是日（rì）文的（de）亂流就是紊流的意思，而中國最早在《空氣潔淨（jìng）技術措施》中正式采用的亂流一詞是（shì）兼有紊流（liú）的含（hán）義而不同於流體力學上的紊流這一專有名詞。國際上習慣稱這種潔淨室為非單向流潔（jié）淨室。
所謂亂流潔淨室（shì），一般包（bāo）括以下各種送風形式：
⑴高效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板
⑵流線型散流器頂進（jìn）
⑶局部孔板（bǎn）頂送
⑷側送（sòng）
具有這些送風形式的潔淨室（shì），如以（yǐ）雷諾數判斷，顯然屬（shǔ）於紊（wěn）流流態，但是如果把它們稱為紊流潔淨室就不（bú）合適。氣流沿整個頂棚下送，室內速度達（dá）到0.25m/s 以上，這種室內的流動狀（zhuàng）態也是紊（wěn）流（liú），但在後麵就會搞清楚，雖然這兩種送風方式都造成室內紊流流態，但是就其淨化室內空氣的（de）原（yuán）理來說，卻是根本不同的，後者屬於單向流或平行流潔淨室的淨化原理（lǐ）。所以如果（guǒ）把前（qián）者稱為紊流潔淨室（shì），則後者也應被包含進（jìn）去了（le）。
亂流潔淨（jìng）室的主要特點是從來流到出流（從送風口到（dào）回風口）之間氣流的流（liú）通（tōng）截麵（miàn）是變化的，潔淨室截麵比送風口截麵大得多，因（yīn）而不能在全室截麵或者（zhě）在（zài）全室工作區截麵形成勻速氣流（liú）。所以，送風口以後的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一（yī）方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產生（shēng）。這就決定亂流潔（jié）淨室的流態實質是：突變流；非均勻（yún）流。
這比用紊（wěn）流來描述亂流潔（jié）淨室更確（què）切、更全麵。紊（wěn）流主要決定於雷諾數，也就是主要受流（liú）速的影響，但（dàn）是如果采（cǎi）用一個高效過（guò）濾器頂送的（de）送風（fēng）形式（shì），則即（jí）使流速極（jí）低，也要產生上述各種結果，這就因為它是一個突變流和非均勻流（liú）。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混（hún），而（ér）且還有全室範（fàn）圍內的大的回流、旋渦（wō）所發（fā）生的摻混。
所以（yǐ），概括地（dì）說，亂流潔淨（jìng）室的作用原理是：當一股幹淨氣流從送風口送入室內時，迅速向四周擴散、混合，同時（shí）把（bǎ）差不多同樣數量的氣流從回風口排走，這股幹淨氣流（liú）稀釋著室內汙（wū）染的空氣，把原來含塵濃度很（hěn）高的室內空氣衝淡了，一直達到平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的效（xiào）果（guǒ）就越好。所以亂流（liú）潔淨室的原理就是稀釋作用。
2所需材料
潔淨（jìng）室（shì）在進行淨化工程施工的時候，需要用到以下（xià）設備：
A． 裝飾結構類：
1：潔淨室所需要的淨化（huà）設備主要有：風淋室貨淋室 層流罩（FFU）傳遞窗高效送風口（分為普通高效送（sòng）風口，一體化高效送風口，可更換濾網的高效送風口） 泄壓閥 風量調（diào）節閥（fá）等，潔淨室做好後有的局部淨化（huà）級別要求特（tè）別高，因此（cǐ）我們推薦客戶使用潔淨工（gōng）作台，潔淨（jìng）棚等淨化設（shè）備。
2：圍體結構彩（cǎi）鋼板（各種鋁型材 槽鋁 T型大梁鋁 角鋁 外形柱鋁 外圓片 三維接頭 門（mén）堵頭 內圓弧線 門料 窗料等） 輔助材料角鐵 圓鋼 膠塞 白功釘 拉爆鉤等）
B．空調通風部分：
1.空（kōng）調通風（fēng）部分主要材料有空調主機，送回風管，鍍鋅水管（或（huò）者PVC水管） 水塔 閘閥水泵 Y型過濾器 橡膠軟管 止回閥 水流開關 溫度計 壓力表 水過濾器 各種管碼
2：通（tōng）風部（bù）分（fèn）的主要材料（liào）有中效增壓箱（xiāng） 風閥 風量調節閥 初效防雨百葉 風回百葉 初效過濾器 中效過濾（lǜ）器 高效過（guò）濾器 層流罩（FFU） 保溫棉 保濕軟管 各種輔材
C． 電器部分：
1、空（kōng）調電路
2、淨化設（shè）備電路
3、照明電路
D． 地（dì）麵部分：
1、環氧樹脂地坪
2、PVC地板
3、高架地（dì）板地麵
3所（suǒ）需設備
風淋（lín）室
風淋室係列產品是一（yī）種通用性較強的局部淨化設備，安（ān）裝於潔（jié）淨室與非潔淨室之間。當人與貨物要進入潔淨區（qū）時（shí）需經風淋室吹淋，其吹出的潔淨空氣可去除人與（yǔ）貨物所攜帶的（de）塵埃，能有效（xiào）的（de）阻斷或減少塵源進入潔淨區。風淋室/貨淋室的前後（hòu）兩道（dào）門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未淨化的空氣進入潔淨區域。
貨淋室
貨淋室，固名思義，即為貨物專用的吹淋室，又（yòu）稱之為貨淋（lín）通道、貨淋門、廣泛適用於電子，食品、包裝企業的物流通道處，對即將（jiāng）進入（rù）潔淨車間進行操作（zuò）加工的貨物原材料及工具進行吹淋，達到過濾去除灰塵粒子，進入無塵（chén）車間（jiān）的原材料潔（jié）淨的效果.因每（měi）個企業（yè）物流通道（dào）的現場尺寸以及需要吹淋的貨物原（yuán）材料運（yùn）輸方式大小的（de）不同，故貨淋室沒有統一的標準，全部（bù）為非標產品。貨淋在（zài）功能上既有普通型貨淋室，又有紅外線語音提示型（xíng）貨淋室，還有（yǒu）自動移門（mén）式貨淋室。
傳（chuán）遞窗
傳遞窗主（zhǔ）要適用於潔淨區與非潔淨區之間（jiān），或潔（jié）淨室與潔淨室之間的小貨物傳遞，可有效的減少潔淨室門的開啟次數，把潔淨區（qū）的汙染減少（shǎo）的最低程度。根據使用要求，傳（chuán）遞（dì）窗箱體表麵可噴塑，內膽可用不鏽鋼，外表美觀。傳（chuán）遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機械連鎖裝置，可有（yǒu）效的防止低潔淨等級區（qū）內的灰塵帶入高（gāo）潔（jié）淨區內（nèi），是淨化車（chē）間必備佳品。
高效送風口
本（běn）產品為萬級，十萬級亂（luàn）流潔淨室新建（jiàn），改建工程淨化（huà）空調係統終端送（sòng）風裝置。可廣（guǎng）泛應（yīng）用與電子工業，精密機械，冶金，化工等工業及醫療，製藥，食品等（děng）部門的淨化空（kōng）調係統。本裝置主要由靜壓箱，高（gāo）效過濾器，鋁（lǚ）合金擴散板，標準法蘭（lán）接口等組成，造型美觀，結構簡單，使用可（kě）靠。 本送風口為下裝（zhuāng）式，具有在潔淨室內安裝（zhuāng）和更換過濾（lǜ）器方便的優點，高效過濾器采用（yòng）機械壓緊（jǐn）或液槽密（mì）封裝置，確保風口安裝（zhuāng）無泄露，密封可靠，淨化效果好，對一（yī）般淨化（huà）工程均可（kě）適用（yòng）。
潔淨工（gōng）作台
無塵車間內的潔淨工作台可根據產品要求（qiú）或其他用途的要求，在（zài）操作台上保持高潔淨度的局部淨化。潔淨工作台可以在操作台的局部空（kōng）間形成無（wú）菌、無塵的局部（bù）淨化，其主要組成部件有預過濾器、高效過濾器、風機機組、外殼、靜壓箱、台麵和配套（tào）的（de）電器元器（qì）件（jiàn）等。
無塵（chén）車間的潔淨工作台的構造要求：台麵，采用木質塑料貼麵貼於層壓板上做成台麵，或采用（yòng）不鏽鋼做台麵；箱體，用熱紮薄鋼板與骨架氣焊（hàn）易變形，可（kě）采（cǎi）用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內表麵需粘（zhān）貼消聲材（cái）料，最大尺寸應以通過一般房門為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封膠密封；操作區截麵應（yīng）盡可能與空氣過濾器送風截（jié）麵相同，盡量減少盲區；風機、電機，選（xuǎn）用高壓低噪的小型風（fēng）機，風（fēng）機與箱體的連接采用軟連（lián）接，電機及風機均應采取減振（zhèn）措施；燈罩，日光燈要（yào）盡量設置在燈罩內，燈罩（zhào）內要（yào）通過潔淨氣流；預過濾器，須設置預過濾器，容量要大，在使用風量下，初阻力宜小於50Pa；高效過濾器，盡量采用大麵積的（de）過濾器，減少空氣過濾器的數量，過濾器與框架之間的密（mì）封（fēng）應采用封導結合的雙環密封係統。
FFU風機過濾單元
風機過濾（lǜ）單元（FFU）是一種空氣自淨裝置，可室（shì）內吊頂安裝或（huò）放（fàng）置在支架上，使局部級別達到百級。也可用於潔淨室末端送風。該產品設有初、高效兩級過濾裝置。風機從頂部將空氣（qì）吸入並經初、高效過濾器過濾，過濾後的（de）潔淨（jìng）空氣在整個出風口送出。安裝方式有懸掛式和落地支架兩種。
風機從FFU頂部將空氣吸入並經初、高效過（guò）濾器過（guò）濾，過濾後的潔淨空氣在（zài）整個出風麵以0.45M/S±20%的風速勻（yún）速送出。它為（wéi）不同尺寸大小（xiǎo），不（bú）同潔淨度等級的潔淨室、微環境提供高（gāo）質量的潔淨（jìng）空氣。在新建（jiàn）潔淨室、潔淨廠房式改造翻（fān）新中，即可提高（gāo）潔淨（jìng）度級別，降低噪音和（hé）振動，也可大（dà）大降低造價，安裝（zhuāng）維護方便，是潔淨環境的理想部件。
層流（liú）罩
層流罩一種可提供局部高清潔環境的空氣淨化設（shè）備。它主要有箱體，風機，初效空氣過濾器，高效空氣過濾器。阻尼層，燈（dēng）具等組成，箱（xiāng）體噴塑（sù）或采用不鏽鋼材料。該產品即可以懸掛（guà），又可地麵支撐，結構緊湊，使用方便。可以單個使用，也（yě）可多個聯接組成帶狀潔（jié）淨區域。廣泛用於精密（mì）機械，電子，製藥，食品（pǐn），精（jīng）細化工等部門。
4控管項目
1、能除（chú）去空氣中飄遊之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產生。
3、溫度和濕度之（zhī）控製。
4、壓力之調節。
5、 有害氣體之排除。
6、結（jié）構物與隔間之（zhī）氣密性。
7、靜電之（zhī）防製。
8、電磁（cí）幹擾預防。
9、安（ān）全因素之考（kǎo）慮。
10、節能之考量。
5淨化方法
空氣淨化方法（fǎ）
1 、整體淨化：可分為層流型和湍（tuān）流型。層流是指空氣由（yóu）一側全（quán）麵地以同速流向另一側，使室內產生的（de）塵粒或細菌不會向四（sì）周擴散（sàn）而被（bèi）平推出室（shì）外，而達到好的除菌效果。
⑴高效過濾除菌技術：空氣潔淨主要（yào）靠高效或超高效過（guò）濾設備，向特定（dìng）的環境內輸（shū）送潔淨空氣並能保持空氣的潔淨度。過濾潔淨原理：①網截阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留（liú）；④慣性碰撞和布朗運動阻留。因此，過濾潔淨技術是一種（zhǒng）綜合作用的結果。
⑵濾材結構：生物（wù）潔淨室所（suǒ）用濾材級別多數為高效或超（chāo）高（gāo）效濾材，所用濾材有：玻璃棉製濾材、高（gāo）級紙漿製濾材、石棉纖維濾材、過氯乙烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以（yǐ）上。
2 、局部淨化
⑴潔淨層流罩（zhào）：潔淨層（céng）流罩是醫（yī）院局部空氣淨化裝置。一（yī）般可構成垂直層流方（fāng）式，四周用（yòng）透明圍幕。整個罩內可保持高潔淨度（萬級至（zhì）百級）空（kōng）氣。這種潔淨層流罩（zhào）可用於（yú）免（miǎn）疫功能低下（xià）病人的治療（liáo）保（bǎo）護，所以也稱無菌病床層流（liú）罩。
⑵淨化操作台：采用水平（píng）或垂直（zhí）層流方式淨化箱體內的（de）空氣，可（kě）使操作台內（nèi）淨化達到很高級別。
⑶靜電吸附除（chú）菌淨化技術（shù）：靜電吸附除菌是利用工業（yè）電除塵的原理（lǐ），在小（xiǎo）型化技術方麵有所創新。①采用細（xì）線放電極與蜂巢狀鋁箱（xiāng）收集極形成級線裝置；②采用鏡象力荷電吸附作用。
目前有一種三級淨化裝置，即預過濾（lǜ） - 高效過濾 - 活性炭吸附，組合式正離（lí）子靜電吸附除菌，並采用大風量空氣淨化，以保證室內空氣淨化次數，較（jiào）好地解決了醫院重點部（bù）門如手術室、 ICU 、母嬰病（bìng）房、血液透析室等有人情況下的空氣持續消毒問題，可使醫（yī）院室內（nèi）空氣的淨化潔淨度達（dá）到（dào） 10 萬級 ~1 萬級。
⑷負離子淨化技術：負離子是一種帶負電的化（huà）學（xué）基團，能發生可逆（nì）性變化，存在（zài）時間極短，本身並（bìng）無殺滅微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結合，形成多個顆粒（lì）凝聚變大從而迅速沉降，使空氣達到淨化的目的。空氣中負離子隻有在具備某些化學性質時，如活（huó）性氧（yǎng）離子等，它們才具有（yǒu）侵害蛋白質的能力從而殺滅微生物，因此負（fù）離子對空氣淨化的能力比（bǐ）較有限，對空（kōng）氣中微生物粒子清除率隻能（néng）達（dá）到 70%~90%。
6工作方式
亂流（liú）式
空氣（qì）由空調箱經（jīng）風管與潔淨室內之空氣過濾器（HEPA)進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回（huí）風。氣（qì）流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。
定義：氣流以不（bú）均勻速度不平行流（liú）動、伴有回流或渦流的潔淨室。
特性：亂（luàn）流潔淨室是靠多次換氣來實現潔（jié）淨與潔淨級別（bié）。換氣次數決定定義（yì）中的淨化級別（換氣次數越多，淨化級別越高）
⑴自淨時間：是指潔淨室按設計換氣次數（shù）開始送風到潔淨室，室內含塵濃度達到所設計的淨化級別（bié）的時間。1,000級希（xī）望不超過20min（分鍾（zhōng）） （可取15min計算） 10,000級希（xī）望不超過30min（分鍾） （可取25min計算） 100,000級希望不（bú）超過40min（分鍾（zhōng）） （可取30min計算）
⑵換氣次數（按上述自淨（jìng）時間要求設計）1,000級（jí） 43.5—55.3次/小時 （規範：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次（cì）/小（xiǎo）時 （規範：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規範：15次/小時）
優點：構造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴充（chōng）比較容易，在某些特殊用途場所，可並用無（wú）塵工作台，提高潔淨室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒（lì）子於室內空（kōng）間飄浮不易排（pái）出（chū），易汙（wū）染製程產品。另（lìng）外若係統停止運（yùn）轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時（shí）相當長一段時間。
層流式
層流式空氣氣流運（yùn）動成一均（jun1）勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進（jìn）入室內，並由高架地（dì）板或兩側隔牆板回風，此型式適用於潔淨室等級需定較高之環境使用，一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型（xíng）式可分為二（èr）種：
⑴水平層流（liú）式：水（shuǐ）平式空氣自過濾器單方向吹出（chū），由對邊牆（qiáng）壁之回風係統回風，塵埃（āi）隨（suí）風向排（pái）出室外，一般在下流側汙染較嚴重。
優（yōu）點：構造（zào）簡單，運（yùn）轉後短時間內即（jí）可變成穩定。
缺點：建造（zào）費用比（bǐ）亂流式高，室內空（kōng）間不易擴充。
⑵垂（chuí）直層流式：房（fáng）間天花（huā）板完全以（yǐ）ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨（jìng）度，在製程中（zhōng）或（huò）工作人員所產（chǎn）生的塵埃可（kě）快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優（yōu）點：管（guǎn）理容易，運轉（zhuǎn）開始短時（shí）間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費（fèi）用較（jiào）高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換（huàn）過濾器較麻煩。
複合式
複合式為將亂流式及層流式予以複合或（huò）並用，可提供局部超潔淨（jìng）之（zhī）空氣。
⑴潔淨隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔（jié）淨度等（děng）級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。
此型式需將作業人（rén）員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質（zhì），ULSI製（zhì）程大都采用此種型式。
潔淨隧道另有二項優點（diǎn）：A.彈性擴充容易； B.維修設備時（shí）可在維修區輕易執行。
⑵潔淨管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包圍並淨（jìng）化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到（dào）良好之潔淨度，可節省能（néng）源，不（bú）需人工（gōng）的自動化生產線為最適宜使（shǐ）用。藥品、食品（pǐn）業界及半導體業界均適用。
⑶並裝局部潔（jié）淨室（Clean Spot）：將潔淨室等（děng）級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨（jìng）風櫃即屬此類。
潔淨工作台：等級Class 1~100級。
潔淨工作棚：為在亂流式之潔淨室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨（dú）立之HEPA或ULPA及空調送風機（jī）組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為10~1000級，高（gāo）度（dù）在2.5米左右，覆蓋麵積（jī）約10m2以下，四支支柱並加裝（zhuāng）活動輪，可為彈（dàn）性運用。
7風速控製
潔淨（jìng）室（shì）內的氣流是左右潔淨（jìng）室性能的重要因（yīn）素，一般（bān）潔淨室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器（qì）等的動作而（ér）幹擾（rǎo）趨於混亂、雖提高風（fēng）速可（kě）抑製此一擾亂之影響而（ér）保持潔淨度（dù）、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求（qiú）的潔淨度水準之時，能以最適當的（de）風速供應，以達到（dào）適當（dāng）的風速供應以（yǐ）達到經（jīng）濟性效果。
另一方麵欲達到潔淨室潔淨（jìng）度之（zhī）穩定效果，均（jun1）一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保（bǎo）持，表示風（fēng）速有異，特別是在壁麵，氣流會延著壁麵發生渦流作用，此時要實現高潔淨度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出麵的風速（sù）不可有速度上的差異；（b）地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之（zhī）速（sù）度，氣流則較均一，一般潔淨室，其風（fēng）速均取在0.25~0.5m/s之間。
8影（yǐng）響（xiǎng）因素
影響潔淨室的氣（qì）流因素很多，如製程設（shè）備、人員（yuán）、潔淨室組裝材、照明器具等，同時（shí）對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
一般操作台或生產設備等表麵的（de）氣（qì）流分（fèn）流點（diǎn），應設於潔淨室空間與隔牆板間（jiān）距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從（cóng）製程區內部（bù）流向（xiàng）作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程（chéng）區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將（jiāng）流至製程（chéng）區之後，作業員操作所引起的塵埃（āi）將被帶到（dào）設備後麵，工作台因而將受到汙（wū）染，良率也勢必降低。
潔淨室內的工作桌（zhuō）等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相（xiàng）對地在其附近之潔淨（jìng）度將會較差，在（zài）工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減少最（zuì）低；組（zǔ）裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣（qì）流是否成為渦流現象之重要因素。
潔淨（jìng）室的構成是由下列各項係統所組成（在所組（zǔ）成的係統（tǒng）分（fèn）子中（zhōng）是缺一不（bú）可（kě）的），否則將無法構成（chéng）一完整且品質良好的潔淨室：
⑴天花板係統：包括吊杆（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或（huò）U-Beam）、天花板格子（zǐ）梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。
⑵空調（diào）係統：包括空氣艙、過濾器係統、風車等。
⑶隔牆板（Partitional wall）：包括窗戶、門。
⑷地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
⑸照明器具：包括日光（guāng）燈、黃色燈管等。
潔淨（jìng）室之建築主（zhǔ）體構造，一般是用鋼（gāng）筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：
●不會因溫度變化與振動而發（fā）生裂痕；
●不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；
●吸濕性小；
●為了維持室內之濕（shī）度（dù）條件，熱絕緣性要高（gāo）。
9重（chóng）要性
潔淨室的潔淨度往往受（shòu）到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產生的塵埃之移動、擴散受（shòu）到氣流的支配。
潔淨室（shì）係（xì）利用HEPA、ULPA過濾空（kōng）氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過（guò）濾（lǜ）的空氣可說（shuō）十分幹淨。然而潔淨室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的（de）塵埃一旦擴散，即無法保持潔淨空（kōng）間，因此必（bì）須利（lì）用氣（qì）流（liú）將發生的塵埃迅速排出（chū）室外。
10應用領域（yù）
工業
以無生命微粒的控製為對象。主要控製空氣（qì）塵埃微（wēi）粒對工作對象的汙染，內（nèi）部一般保持正壓狀態。它適（shì）用（yòng）於（yú）精密機械（xiè）工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇（yǔ）航工業、高純（chún）度化（huà）學工業、原子能工業、光磁（cí）產品工業（光盤、膠片、磁帶（dài）生產）LCD（液晶玻璃）、電腦（nǎo）硬盤、電腦磁頭生（shēng）產等多行業。
生物
主要（yào）控製有生命（mìng）微粒（lì）（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的汙染。又可（kě）分為：
A、 一般生物潔淨室：主要控製微生物（細菌）對象的汙染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料（liào）要能經受各種滅菌處理的工業潔（jié）淨室。例：製藥工業、醫院（手術（shù）室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全潔淨室：主要控（kòng）製工作對（duì）象的有生命微粒對外界和人的（de）汙染。內部要保持與大（dà）氣的負（fù）壓。例：細菌學、生物學、潔（jié）淨實驗室、物物（wù）工程（重組基因、疫苗製備）。
相（xiàng）關知識
11工作量
發塵量
潔淨室內的發塵量，來自設備的可考慮通（tōng）過局（jú）部排風排除，不流入室內（nèi）；產品，材料等（děng）在運送過程中的發塵與人體發塵量相比，一般極小，可忽略；由於金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建築表麵的（de）發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要來自人，占90%左（zuǒ）右。在人的發塵量（liàng）上，由於（yú）服（fú）裝材料和樣式的改進，發塵絕對量也不斷減少。
A、材質：棉質發塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發塵量最大，上下分裝型次之，全罩型（xíng）最少。
C、活動：動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍。
D、清洗：用（yòng）溶劑洗滌的發塵量降（jiàng）至（zhì）用一般水清洗（xǐ）的五分之一。
室內維護結構表麵發塵量，以地麵為準，大約相應8平方米地麵（miàn）時的表麵發塵量與一個靜止的人的發塵量相（xiàng）當。
發菌量
工作人（rén）員產生的汙染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鍾脫落約1000片皮膚（fū）（平均大小為30*60*3微米）
2）頭（tóu）發：人（rén）類的頭發（直（zhí）徑約為50~100微米（mǐ））一直（zhí）在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖（xiān）維、矽土、纖（xiān）維（wéi）素、各種化學（xué）品和細菌。
5）人類（lèi）靜止和坐立每分鍾將產生10000個大於0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀幹做動作時每分鍾（zhōng）將產生1000000個大（dà）於（yú）0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鍾將產生5000000個大於0.3微米的微粒。
分析國外試驗資料可以認為：
⑴ 潔淨室內當工作人員（yuán）穿（chuān）無菌（jun1）服時：
靜止時的發菌量一般為10-300個/min.人
軀體一般活動時的發菌量為 150-1000個（gè）/min.人
快步行走時的發菌量為 900-2500個/min.人（rén）
⑵ 咳嗽（sòu）一次一般為 70~700個/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿平常（cháng）衣服（fú）時發菌量 3300~62000個（gè）/ min.人
⑷ 無口罩發菌量：有口罩發（fā）菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據國內事例：
⑹ 手（shǒu）術（shù）中人員發菌量 878個/ min.人
所以，可知潔淨室內無菌衣人員的靜態發菌量一般不（bú）超過300個/ min.人，動態發菌量一般不超過（guò）1000個/ min/人，以此作為計（jì）算依（yī）據是可行的。
12執行標準
國內標準
⑴.潔淨廠房設計規範（fàn） GB50073-2001
⑵.醫院潔淨手術部建築技術規範GB50333-2002
⑶.醫藥工業潔（jié）淨廠（chǎng）房設計規範GB 50457-2008
⑷.傳染病醫院建築設計規範
⑸.醫藥工業潔（jié）淨室（區）懸浮粒子的測試方（fāng）法GB/T16292-1996
⑹.QS認證質量手（shǒu）冊
⑺.GMP藥品生產質（zhì）量管理規範
⑻. 潔淨室（shì）施工及驗收規範GB 5091-2010
際標準
ISO係列
⑴ISO14644-1空氣潔淨度等級劃分（fèn）
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的相符性的測試（shì）和監測（cè）技術（shù）要求
⑶ISO14644-3 測試方法
⑷ISO14644-4 設計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（Operations)
⑹ISO14644-6 術語和定義
⑺ISO14644-7 分（fèn）離裝置（潔淨空氣罩、手（shǒu）套箱、分離器和微循環設備（bèi）
⑻ISO14644-8 分（fèn）子汙染
⑼ISO14644-9 潔淨化學品（液體）
IEST係列
潔淨空（kōng）氣：
RP-CC001高效與超高效過濾器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔（jié）淨室測試RP-CC007超高效過濾器測試
RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC021高效與超高效過濾器（qì）過濾器介（jiè）質（zhì）測試
RP-CC034高效與超高（gāo）效過濾器過濾器檢漏
潔淨（jìng）室與潔淨環境：
RP-CC006潔淨室測試
RP-CC012潔淨室設計要點
RP-CC016潔淨室非揮發性殘留物質的沉積率
RP-CC018潔淨室管理運行與檢測程序
RP-CC022潔淨室與受控環境中（zhōng）的靜電
RP-CC023潔淨室中的微生物
RP-CC024微電子設備震動測量與說明
RP-CC026潔淨室運行
RP-CC027潔（jié）淨室與受控環境中人員與行為
特殊應用（yòng）：
RP-CC029使用噴漆器要考（kǎo）慮的汙染（rǎn）控（kòng）製因素
運行保障：
RP-CC003淨室與受控環境的服裝係統要點
RP-CC004淨室與受控環境用抹布材料評估
RP-CC005淨室與受控環境用手套和指套
RP-CC020潔淨室文（wén）件材料與格式
設備：
RP-CC002單向（xiàng）流裝置
RP-CC013設備校準與檢驗程（chéng）序
RP-CC015潔淨室（shì）生產設備與（yǔ）輔助設備
術語：
RP-CC011汙染控（kòng）製領域術語和定義
文獻：
RP-CC009汙染控製領（lǐng）域的（de）標準、準則、方法與相關文件（jiàn）概覽
詳細參數
潔淨標準與（yǔ）潔淨等級 (ISO 國際標準（zhǔn））
各粒（lì）徑（jìng）檔最大容許粒子濃度 （顆/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1，
4 10，000 2，370 1，020 32 83
5 100，000 23，700 10，
6 1，000，000 237，000 102
空氣潔淨度應按下表規定（dìng）劃分為（wéi）四個等級。
空氣潔淨度等（děng）級表
等級
每立方米（mǐ）（每升）空氣中
≥0.5微米（mǐ）塵粒數
每立方米（mǐ）（每升）空氣中
≥5微米塵粒數
100級
≤35×100(3.5)
1000級
≤35×1000(35)
≤2500(0.25)
10000級
≤35×10000(350)
≤25000(2.5)
100000級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注：對（duì）於空氣潔（jié）淨度（dù）為100級的（de）潔淨室內大於等於5微米塵粒的計（jì）算應進行多次采樣。當其多（duō）次出現時，方可認為（wéi）該測試數（shù）值是可*的。
13應用範圍
淨化工程是一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業，在電（diàn）子信息、半導體、光電（diàn）子、精密製造、醫藥衛生、生物工（gōng）程、航天航空、汽車噴塗等眾多行業均有應用，並根據行業的精密與無塵要求，等級差別也較大（dà）。
目前（qián）級別最高的當屬航天航空的（de）航空倉，基本是屬於1級，屬於特殊領域，麵積相對較小。
另外對級別要求較高的是（shì）生（shēng）物化學實（shí）驗室和高精納米材料（liào）生產車間，互聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。
14八（bā）大特點
第一點，采用更適合（hé）潔淨室原理的圓弧轉角；
第二點，係（xì）統自動控（kòng）製運行，雙門（mén）電子互鎖，並設有光電感應器，單向（xiàng）通道風淋室，從非潔（jié）淨區（qū）進（jìn）入（rù），關（guān）門後紅外線感應有人就（jiù）吹（chuī）淋，吹淋後（hòu）入門鎖閉，隻能從出門走出風淋室；
第三點，整體冷軋鋼板（bǎn）製作，外表麵靜電噴塑處理；
第四點，門、底板、噴嘴均采用不鏽鋼製造，美觀大方；
第五點，軟（ruǎn）鍵觸按式時間繼電器，LED顯示及設置（zhì）吹淋時間，範圍（wéi）在（zài）10-99s可調，吹淋時雙門自動鎖閉；
第六點，采用（yòng）初、高效兩級過濾係統，有隔板高效過濾（lǜ）器，過濾效率為：99.99%，確保淨化級別；
第七點（diǎn），風嘴出風口風速高達25m/s以上（shàng），吹到人體上（shàng）風速18m/s以上；
第八點，采用EVA密封材料，密閉性能高。
15人員規範
為了避（bì）免（miǎn）和（hé）減少（shǎo）潔淨室（shì）從業人（rén）員對潔淨（jìng）室造成的汙染。任何潔淨室工作以外的人員，在（zài）與潔（jié）淨室工作人員（yuán）捷星接觸談話時，要將自（zì）己背對過去，因為口鼻會向注視的（de）方興散發汙染。
做到口鼻不對潔淨室的工作區。
如果出現咳嗽或者（zhě）打噴嚏的情（qíng）況，要做到背對潔淨室的工作區用手（shǒu）套掩住（zhù），然後及時更換手套。情況嚴重的者應立即離開潔淨室區域，並向領導報告。
潔淨（jìng）室內不（bú）得放置於（yú）潔淨室工作無關的物品。潔淨室（shì）工作物品要排放有序。
當設（shè）備（bèi）不能正（zhèng）常（cháng）運轉的時候，不要（yào）私自維修，要向領導（dǎo）報告（gào），等專業人員對潔（jié）淨室進行維修。
另外，由於潔淨室對（duì）潔淨度有著過高的要求。因此，對潔（jié）淨室的工作人（rén）員的身（shēn）體（tǐ）方麵的狀況要求（qiú）是很嚴格的。
患（huàn）有呼吸（xī）道（dào）疾（jí）病的人，由於（yú）會對潔淨室的空氣造成汙染，故不能進入潔淨室（shì）工作
患有結膜炎（yán）或（huò）者其他產（chǎn）生分泌物的（de）病症（zhèng），或者患有皮膚類疾病的人員（yuán）都是不適合在潔淨室工（gōng）作的。
另外需要注意的，潔（jié）淨室的工作人員要對自己的口（kǒu）腔衛生，保持注意。潔淨（jìng）室工作人員要定期的進行身體健康狀況（kuàng）的檢查
16運行節能（néng）
●潔淨室送風、排風、新風之間應切換自如，如生（shēng）產停止、排風櫃也應停止或減（jiǎn）小風量，新風也應調小。
●工藝並（bìng）非（fēi）絕對（duì）要求值班風機（jī）運行保護（hù）的（de），應采用提（tí）前開（kāi）機（jī）自淨的（de）辦法。
●潔（jié）淨室通風機轉速使其壓（yā）頭可以控製，不（bú）要總處於最大壓頭或最（zuì）大風（fēng）量運行的工況。
●運行應最大限度地利（lì）用（yòng）室外空氣（qì）冷卻作用，並在此時（shí）增大新風比。
●潔淨室應根據（jù）室（shì）外（wài）氣象條件變化，通過自控或手控即能調整設備出力。
●縮小潔淨空間體積，如潔淨隧道或隧道式潔淨室，根據生產要求把潔淨空間劃分為潔淨度級別不同的工藝區、操作區、維修區和通道區。
