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關於潔淨室
發布時間:2023-02-15 16:48:00 瀏覽次數:
關於潔淨室
潔淨室(Clean Room),亦稱無塵車間、無塵室或清淨室。潔淨室(shì)的(de)主要功能(néng)為室(shì)內汙染控製,沒有(yǒu)潔淨室(shì),汙染敏感零(líng)件不可能批量生產。在FED-STD-2裏麵,潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定(dìng)的規則(zé)的操作程序以(yǐ)控製空氣懸浮微粒(lì)濃度,從而達到適當的微粒(lì)潔淨度級別。潔淨(jìng)程度(dù)和控製汙染的持續穩定性,是檢驗潔淨室質(zhì)量的核心(xīn)標準,該標準(zhǔn)根據區域環境、淨化程度等因素(sù),分為(wéi)若幹等級(jí),常用的有國際標準(zhǔn)和國內區域行業標(biāo)準(zhǔn),一些知名淨(jìng)化(huà)工程公司,在通行標(biāo)準之外,還設有自身執行的高於國際化通行標準的淨化指標,淨化能力和環境適應力遠超(chāo)國際品牌。
1簡介
潔淨室是指將一定空間範圍內之空(kōng)氣中的微粒(lì)子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並(bìng)將室內之溫度、潔淨度(dù)、室內壓力、氣流速(sù)度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能(néng)俱有維持原先所(suǒ)設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔淨室最主(zhǔ)要之作用在於控製產品(如矽芯片等(děng))所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕(shī)度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間我們稱之為潔淨室(shì)。按照國際慣例,無塵(chén)淨化級別主要是根(gēn)據每立方米空氣中(zhōng)粒子直徑大於劃分標準的(de)粒子數量來規定。也就是說所謂(wèi)無塵並非100%沒有一點灰塵,而是(shì)控製在(zài)一個(gè)非常微量的單位(wèi)上。當然這個標(biāo)準中符合(hé)灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對於光(guāng)學構造而言,哪怕是一點點的(de)灰塵都會產生非常(cháng)大的負麵影響,所以在光(guāng)學構(gòu)造產品的生產上,無塵是必然的要求。
每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數(shù)量(liàng)控製在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標準的A級。芯片級生產加工的無(wú)塵標(biāo)準對於灰塵的要求高於A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯(xīn)片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控製(zhì)在每立方英(yīng)寸1000個以(yǐ)內,這也就是業內俗稱的1K級別。
空態(tài):已經建造完成並可以投入使用的潔淨室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但(dàn)是,在設施內沒有操作(zuò)人員操作(zuò)的設備。
靜態:各(gè)種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正(zhèng)在(zài)使用(yòng)的潔淨室(設施),但是設施內沒(méi)有(yǒu)操作人員。
動態:處於正常使用的(de)潔淨室(shì),服務功能(néng)完善(shàn),有設備和人員;如果需要,可從事正(zhèng)常的工作。
單向流(層流)潔淨室原理
在潔淨室內,從送風口到回(huí)風(fēng)口,氣流流經途中的(de)斷麵幾乎沒有什麽變化,加(jiā)上進風靜壓箱(xiāng)和高效過濾(lǜ)器的均壓均(jun1)流作用,全室斷麵上的流速比(bǐ)較均(jun1)勻,而至少在(zài)工作(zuò)區內流線單向平行,沒有渦(wō)流。這也就是單向流潔淨室的(de)三大特點。這裏的流線單向平行,是指(zhǐ)時均流線彼(bǐ)此平(píng)行,方向單一。
單向流(liú)潔淨室的流態(tài)從雷諾數判斷是紊流的,所以所謂層流潔淨室的層流和流體力學上的層流是完全不同的概念。因此,層流潔(jié)淨室這(zhè)個名詞是不貼切的,國外某些標準和文章也指(zhǐ)出這一點,例(lì)如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔淨室定義(yì)為單向流潔淨室,隻是照顧(gù)習慣在括號中注明(míng)為層流。前聯邦德國標準VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術語(yǔ),並在注中指出,層流這一概(gài)念隻是為了區別早於層流潔淨室出現的紊(亂)流潔淨室而在當時采用的習慣用語(yǔ),“層流係統(tǒng)”的確切意思並不是分(fèn)層(céng)流動(dòng),而是紊流的置換流,用本章提到(dào)的概(gài)念是紊流的漸變流。在流體力學中(zhōng),這種流動狀態也可稱平行流或單向流。1977年中國(guó)在《空氣潔淨技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個術語,在該術語後麵同時也(yě)指出習慣上稱“層流”。
在單向流潔淨室內,幹淨氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷麵,所(suǒ)以這種潔(jié)淨室不是靠潔淨氣流對室內髒空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔淨氣流推出作用將室內髒空氣(qì)沿整個斷麵排至室外,達(dá)到淨(jìng)化室內空(kōng)氣的(de)目的。所以,前聯邦德國有人稱單向流潔淨室的(de)氣流為“活塞(sāi)流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱(ruò)空(kōng)氣(qì)射流”。幹淨空氣就(jiù)好(hǎo)比一個空氣(qì)活塞,沿著房間這個(gè)“氣缸”,向(xiàng)前(下)推進,而使塵粒隻能前(下)進,沒有(yǒu)返(fǎn)回,把原有的含塵濃度高的(de)空氣擠壓出房(fáng)間。
在單向流潔淨室以及單向流淨化設(shè)備中,可以發現沿壁(bì)的(de)和兩(liǎng)個過濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的(de)汙染傳輸到上部再(zài)送下來,破壞(huài)了(le)上述(shù)“活塞流”的狀態,危害極大。對於(yú)和外界有開口相通的局部淨化設備,例(lì)如潔淨工作台,這種氣流將引射(shè)外界汙染氣流,在設計上一定要減小過濾器邊框處所占的(de)無效麵積,更要設法使空間的壁麵盡(jìn)量接近過濾器有效迭風截麵(miàn)。
通過(guò)上(shàng)麵分(fèn)析,可以認為保證單向流潔淨室特性(高潔淨(jìng)度和快速自淨(jìng)恢複能力)的重要先決條件有兩個:①來流的潔淨度;②來(lái)流的活塞流情況;
對於來流的潔淨度,對通(tōng)過高效以上過濾器送風的單向流潔淨(jìng)室(shì)來說是不成問題的(de),而(ér)對於來(lái)流的“活塞流”情況,則需作進~步分(fèn)析(xī)。
根據流體力學原理,來流條件對以後(hòu)的流動狀況將有直接的重要影響,送風麵出(chū)口氣(qì)流也就是工作區的來(lái)流。
來流的紊動性大,則將影響後麵的單(dān)向流特性;來流未充滿流動截麵,則將影響後麵是否能形成“活塞流(liú)”和形成(chéng)的快慢;而來流未充滿流動截麵也是來流素動的一個因素。所以,在采用高效過濾器的條(tiáo)件下,保證單向流潔淨室(shì)特性的必要條件是“活塞流”,而(ér)“活塞流”的必要條件則是來(lái)流充滿流(liú)動截麵。但是,對(duì)一間房間而不是一段管道(dào)來說,讓氣流從頭至尾(wěi)完(wán)全充滿(mǎn)流動截麵也是不現實的。
最初,確實認為(wéi)這(zhè)種單向平行的氣流應該充滿整個潔淨室,但(dàn)這在技術上(shàng)和經濟上都是不利的。隨著認識的發展(zhǎn),人們又指出這(zhè)種單向流隻是“在有限的領域(yù)內全部空氣沿平行流線以等速(sù)流動的意思”,並認為(wéi)能極力抑(yì)製渦流的發生。通過(guò)全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位的(de)那樣的房間,也稱為單向流潔淨室。這就是說,不要求在整(zhěng)個房間都具有(yǒu)單向平行的流線,均勻的速度,沒有渦流,而是隻要求單向(xiàng)平行流特性在這個房間中占支配地位,例如在整個工作區這一層空間保證了單向流,這個房間就(jiù)是(shì)單向流潔淨室。前麵介紹過的國內外有關標準(zhǔn)、措施中(zhōng)關於單向流潔淨室達到的高潔淨(jìng)度,就是指在工作(zuò)區(qū)內達到(dào)的(de)潔淨度。因此,密集布置的流線型(xíng)散流器頂送和(hé)全孔(kǒng)板頂送,也被作為實現垂直(zhí)單向流的手段使用(yòng)。
亂流原理
潔淨室按其(qí)氣(qì)流狀態來區分,主要分為(wéi)亂流(非單向流(liú))潔(jié)淨(jìng)室、單向流潔(jié)淨室和輻流(liú)潔淨室(shì)(也有稱矢流潔淨室的),這一節主要討論亂流潔淨室。前麵已(yǐ)經指出,不論(lùn)是哪一種(zhǒng)潔淨室,都是紊流流態(tài)。那為什麽不(bú)都叫紊(wěn)流潔淨室呢?
亂流潔淨室的名稱是借用於日文,但是日文(wén)的亂流就是(shì)紊流的(de)意思,而中國最早在《空氣潔淨技術措施(shī)》中正式采用的亂流一詞是(shì)兼有紊流的含義(yì)而不(bú)同於流(liú)體力學上的(de)紊流(liú)這一專有名詞(cí)。國際上習慣稱這種潔淨室為非單向流潔淨室。
所謂亂流潔淨室,一般包括以下各種送風形式:
⑴高效過濾器頂送(sòng)(有擴散板和無擴散板
⑵流線型(xíng)散(sàn)流器頂進
⑶局部孔板頂(dǐng)送(sòng)
⑷側送
具有這些送(sòng)風形式的(de)潔淨室,如以雷諾數(shù)判斷,顯然屬於紊(wěn)流流態,但是如果把它們稱為紊流潔淨室就不合適。氣流沿整個頂棚下(xià)送,室內速度(dù)達到0.25m/s 以上,這種室內的流動狀態也是紊流(liú),但在後麵(miàn)就(jiù)會(huì)搞清楚,雖然(rán)這兩種送風方式都(dōu)造成室內紊流流態,但是就其淨化室內空氣(qì)的原理來說,卻是根本不同的,後者屬於單向流或平行流潔淨室的淨化原理(lǐ)。所以如果把前者稱為紊流潔淨室,則後者也應被包含進去了。
亂流潔淨室的主要(yào)特點是從來流到出流(從送風口到回風口)之間氣流的流(liú)通截麵是變化的,潔淨室截麵比送風口截麵大得多,因而不能在全室截麵或者(zhě)在全室工作區截麵形成(chéng)勻速氣流。所以,送風口以後的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半(bàn)徑很小,氣流在室(shì)內不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有(yǒu)回流、旋渦產生。這就決(jué)定亂流潔淨室的流態實質是:突變流;非均勻流。
這比用紊(wěn)流來描(miáo)述亂流潔淨室(shì)更確切(qiē)、更全麵。紊流主要決定(dìng)於雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個高效(xiào)過濾器頂送的(de)送風形式,則即使流速極低(dī),也要產生上述(shù)各種結果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。因(yīn)此這(zhè)種情況下不僅有流層之(zhī)間(jiān)因(yīn)紊流流動而發(fā)生的摻混,而且還(hái)有全室範圍(wéi)內的大的回流、旋渦(wō)所發生的摻混。
所以,概括地說,亂流潔淨室的作用原(yuán)理是:當一股幹淨氣流從送風口送入室內時,迅速向(xiàng)四周擴散、混合,同時把差不多同樣數量的氣流(liú)從回風口(kǒu)排走,這股幹淨氣流稀(xī)釋著室內汙染的空氣,把(bǎ)原來含塵濃(nóng)度(dù)很高的室內空氣衝淡了,一(yī)直達到平衡。所(suǒ)以氣流擴散得越快,越均勻,稀釋(shì)的效果就越好。所以亂(luàn)流潔淨室的(de)原理就是稀釋作用。
2所需(xū)材料
潔淨室在進行淨化(huà)工程施工的時候,需要用到以下設(shè)備:
A. 裝飾結構類:
1:潔淨室所需要的淨化設(shè)備主要有:風淋室貨(huò)淋室 層流罩(FFU)傳遞窗高效送風(fēng)口(分為普通高效送風(fēng)口,一體化高效送風口,可(kě)更換濾網的(de)高效送風口) 泄壓(yā)閥(fá) 風量調節閥等,潔淨室做好後有的局部淨化級別要(yào)求特別高,因此我們推(tuī)薦客戶使用潔(jié)淨工作台,潔(jié)淨棚等淨化設備。
2:圍體結構彩鋼板(各種鋁型材 槽鋁 T型大梁鋁 角鋁 外形柱鋁 外圓片 三維接頭 門堵頭 內圓弧線 門料 窗料等) 輔(fǔ)助材料角鐵 圓鋼 膠塞 白功釘 拉爆鉤等)
B.空調通風部分:
1.空調通風部分主要材料有空調主機,送回(huí)風管,鍍鋅水管(或者PVC水管) 水塔 閘閥(fá)水泵 Y型過濾器 橡膠軟管 止回閥 水流開關 溫度計 壓力表 水過濾(lǜ)器(qì) 各種管碼
2:通風部分(fèn)的主要(yào)材料有中效增壓箱 風閥 風量調節閥 初效防雨百葉 風回百葉 初效過濾器(qì) 中效過(guò)濾器 高效過濾器 層流罩(FFU) 保溫棉 保濕軟管 各種輔材
C. 電器部分:
1、空調電路
  2、淨化設備電(diàn)路
  3、照明電路
D. 地麵部分:
   1、環氧樹脂地坪
  2、PVC地板
  3、高架地板地麵
3所需設備
風淋室
風淋室係列產品是一種通用性較強的局部淨化設備,安裝於潔淨室與非潔淨室(shì)之間(jiān)。當人與貨物要進(jìn)入(rù)潔淨區時需(xū)經風淋室吹淋,其吹出的潔淨空(kōng)氣可(kě)去除人與貨(huò)物所攜帶的塵(chén)埃,能有效的阻斷或減少塵源進入(rù)潔淨區。風(fēng)淋室/貨淋室(shì)的前後兩道門為電子互鎖,又(yòu)可(kě)起到(dào)氣閘(zhá)的作用,阻止未淨化的空氣(qì)進(jìn)入潔淨區域。
貨淋(lín)室
貨淋室,固名思義,即為(wéi)貨物專用的吹淋室,又稱(chēng)之為貨淋通(tōng)道、貨淋門、廣泛適用於電(diàn)子,食品、包裝企業的物流通道(dào)處,對即將進入潔淨車間進行操作加工的貨物原材料及工具(jù)進行吹淋,達到過濾(lǜ)去(qù)除灰塵粒子,進入無塵車間的原材料潔淨的效果.因每個企業物流(liú)通道的現場尺寸以及需要吹淋的貨物原材料(liào)運輸方式大小的(de)不同,故貨淋室沒有統一的標準,全部為非標產品。貨淋(lín)在功能(néng)上既(jì)有(yǒu)普通型貨淋(lín)室(shì),又有紅外線語(yǔ)音提示型貨淋室,還有自動(dòng)移門式貨(huò)淋室。
傳遞窗(chuāng)
傳遞窗(chuāng)主要適(shì)用於潔(jié)淨區與非(fēi)潔(jié)淨區之(zhī)間,或潔淨室與潔淨室之間的小貨物傳遞,可有效的減少潔淨室門的開啟次數,把潔淨區的汙染(rǎn)減少(shǎo)的最低程度。根據使用要(yào)求,傳遞窗箱體表麵可(kě)噴塑,內膽可用不鏽鋼,外表美觀。傳遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機械連鎖裝置,可有效的防止低潔淨等級區內的灰塵帶(dài)入高潔(jié)淨區內,是淨化車間必備佳品。
高效送風口
本產(chǎn)品為萬級,十萬級亂流潔淨室新建,改建工程淨化空調係統(tǒng)終端送風裝置。可廣(guǎng)泛應用(yòng)與(yǔ)電子工業,精密機械,冶金,化工等工業及醫療,製藥,食品等部門的淨化空調係統。本裝(zhuāng)置主要由靜(jìng)壓箱,高效(xiào)過濾器,鋁合金擴散板,標準法蘭接口等組成,造型美觀,結構簡(jiǎn)單,使用可靠。 本(běn)送風口為下裝式,具有(yǒu)在潔淨室內安裝(zhuāng)和更換過濾器(qì)方(fāng)便(biàn)的優點,高效過濾器(qì)采用機械壓緊或液槽密封裝置,確保(bǎo)風口安裝無泄露,密封可靠,淨化效果好,對(duì)一般淨化工程(chéng)均可適用。
潔淨(jìng)工作台
無塵車間內的潔淨工(gōng)作台可根據產品要求或其他用途的要求,在操作台上保持高潔淨度的(de)局(jú)部淨化(huà)。潔淨工作台可以在操作台的局部空間形成無菌(jun1)、無塵的(de)局部(bù)淨(jìng)化,其(qí)主要(yào)組成部件(jiàn)有預過濾器、高(gāo)效過(guò)濾器、風機機組、外殼(ké)、靜壓箱、台麵和配套的電器元器件等。
  無塵車間的潔淨工作台的構造要求:台麵,采用木質(zhì)塑料貼麵貼於層壓板上做成台麵,或采(cǎi)用不鏽鋼做台麵;箱體,用熱紮薄鋼板與骨架氣焊易變形(xíng),可采用冷軋薄板折邊搭接,大電流電焊,內表(biǎo)麵需粘貼消聲材料,最大尺(chǐ)寸應以通過一般房門為(wéi)宜(yí);箱體密(mì)封,所有縫隙均采用密封膠密封;操作區截麵應盡可能與空氣(qì)過濾(lǜ)器送風截麵相同,盡量減少盲區;風機(jī)、電機,選用高壓低(dī)噪的小型風機,風機與箱體的連接(jiē)采用軟連接,電機及風機均應采取減振(zhèn)措施;燈罩,日光燈要盡(jìn)量設置在(zài)燈罩內,燈(dēng)罩內要(yào)通過潔淨氣流;預(yù)過濾器,須設置預過濾器,容量(liàng)要大,在使用風量下,初阻力(lì)宜小於50Pa;高效過濾器,盡量采用大麵積的過濾器,減少空氣過濾(lǜ)器的數(shù)量,過濾器與框架之間的密封應采用封導結(jié)合的雙環密封(fēng)係統。
FFU風機過濾單(dān)元
風機過濾單(dān)元(FFU)是一種空(kōng)氣(qì)自淨裝(zhuāng)置,可室內吊頂安(ān)裝或放置在支架上(shàng),使局部級別達到百級。也可(kě)用於潔淨室末端送風。該產品設有初、高效(xiào)兩級過濾裝置。風機從頂部將空氣吸入並經初、高效過濾器過濾,過濾後的潔淨空氣在整個出風口送出。安裝方式有懸掛式和落地支架兩種(zhǒng)。
  風機從FFU頂部將空氣吸入並經初、高效(xiào)過濾器過濾,過濾後的潔淨(jìng)空氣在整個出風麵(miàn)以0.45M/S±20%的風速勻(yún)速送出。它為不同尺寸大小,不同潔淨度等級的潔淨室(shì)、微環境提供(gòng)高質量的潔淨空氣。在新建潔淨室、潔淨廠房式改造翻新中,即可提高潔淨度級別,降低噪音和(hé)振動,也可大大降低造價,安裝維護方便,是潔(jié)淨(jìng)環(huán)境的理想部件。
層流罩
層流罩一種可(kě)提供(gòng)局(jú)部高清(qīng)潔環境的(de)空氣(qì)淨化(huà)設(shè)備。它主要有箱體,風機,初效空氣過濾器,高(gāo)效空氣過濾器(qì)。阻尼(ní)層,燈具等組成(chéng),箱體噴塑或采(cǎi)用不鏽鋼材料。該產品(pǐn)即可以懸掛,又可地麵支撐(chēng),結構緊湊,使用方便。可以單個使(shǐ)用,也可多個聯接組成帶狀潔淨區域。廣泛用於精密機(jī)械,電子,製藥,食品,精細化工等部門。
4控管項目
1、能除去空氣中飄遊之微塵粒子(zǐ)。
2、能防止微塵粒子之(zhī)產生。
3、溫(wēn)度和濕度之控(kòng)製。
4、壓力之調節。
5、 有害氣體之排除。
6、結構物與隔間之氣密性。
7、靜電(diàn)之防製。
8、電磁幹擾預(yù)防。
9、安全(quán)因素之考慮。
10、節能(néng)之考量。
5淨化(huà)方法
空氣淨化方法
1 、整體淨化:可分為層流型和(hé)湍流型。層流(liú)是指空(kōng)氣由一側全麵地以同速流向另(lìng)一側,使室內產生的塵粒或(huò)細菌不會向四周擴散(sàn)而被平推出室外(wài),而達到好的除菌效果。
⑴高效(xiào)過濾除菌技術:空氣潔淨主要靠高效或超高效過(guò)濾設備,向(xiàng)特定的環境內輸送潔淨空氣並能保持空(kōng)氣的潔淨度。過(guò)濾潔淨原理:①網截阻留;②篩孔阻留;③靜電吸引阻留;④慣性碰撞和布朗運動阻留。因此,過濾潔淨技術是一種綜合作用的(de)結果。
⑵濾材結構:生物潔淨室所用濾材級別多數為高效或超高效濾材,所用濾材有:玻璃棉製濾材、高級紙漿(jiāng)製濾材、石棉纖維濾材、過氯乙(yǐ)烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ,超高效(xiào)濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。
2 、局部淨化
⑴潔(jié)淨(jìng)層流罩:潔淨層流罩是醫院局部空氣淨化裝置。一般可構成(chéng)垂直層流方式,四周用透明圍幕。整個(gè)罩內可(kě)保持高潔淨度(萬級至百級)空氣。這種潔淨層流罩可(kě)用(yòng)於免疫功能低下病人(rén)的治療保護,所(suǒ)以也稱無菌病床層流罩。
⑵淨化操作台:采用水平或垂(chuí)直層流方式淨化箱體內(nèi)的空氣,可使操作(zuò)台內(nèi)淨化達(dá)到很高級(jí)別。
⑶靜電吸附除菌淨化技術(shù):靜電吸(xī)附除菌是利用工業電除塵的原理,在小(xiǎo)型(xíng)化(huà)技術方麵有所創新。①采用細線放電極(jí)與蜂巢狀鋁箱收集極形成級線裝置;②采用鏡象力荷電吸附作用(yòng)。
目前有一種(zhǒng)三級淨化裝置,即預過濾 - 高效過濾 - 活性炭吸附,組合式正離子靜電吸附除菌,並采用大風量空氣淨(jìng)化,以保證室內空氣淨化次數,較好(hǎo)地解(jiě)決了醫(yī)院重(chóng)點部門如手術室、 ICU 、母嬰病房、血液透析(xī)室等有人情況下的空氣持續消毒問題,可使醫院室內空氣的淨化(huà)潔淨度達到 10 萬級 ~1 萬級。
⑷負離子淨化技術:負離子是一種帶負電的化學基團,能發(fā)生可逆性變化,存在時間極短,本身並無殺滅(miè)微生物的能力,主要是靠帶電離子與(yǔ)空氣中的微粒特別是微生物顆粒結合,形成(chéng)多個顆粒凝聚變大從而迅速沉降,使空氣達到淨化(huà)的目的。空氣中負離(lí)子隻有在具備某些化學性質時,如活性氧離(lí)子等(děng),它們才具有侵害蛋白質(zhì)的能力從而殺滅微生物(wù),因(yīn)此負離子對空氣淨(jìng)化的能力比較有限,對空氣中微生物(wù)粒子清除率(lǜ)隻能達到 70%~90%。
6工作方式
亂(luàn)流(liú)式
空氣(qì)由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室,並由(yóu)潔淨室兩側隔間牆板(bǎn)或高架地板回風。氣流(liú)非(fēi)直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此(cǐ)型式適用(yòng)於潔淨室等級1,000-100,000級。
定義:氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔淨(jìng)室。
特性:亂流潔淨室是靠多(duō)次換氣來實現潔淨與潔(jié)淨級別。換氣(qì)次數決定定義中的淨化級別(換(huàn)氣次數越多,淨化級別越高)
⑴自淨時間:是指潔淨室按設計換氣次數(shù)開始送風到潔淨(jìng)室,室(shì)內含塵(chén)濃度達到所設計的淨化級別的時間。1,000級(jí)希望(wàng)不超過20min(分(fèn)鍾(zhōng)) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鍾(zhōng)) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鍾(zhōng)) (可取(qǔ)30min計算)
⑵換氣次數(按上述自淨時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規範:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規範(fàn):25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規範:15次/小時)
優點:構造(zào)簡單、係統建造成本,潔淨室之擴充比較容易(yì),在某些(xiē)特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高潔淨室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出,易(yì)汙(wū)染製程產(chǎn)品。另(lìng)外若係統停止(zhǐ)運轉(zhuǎn)再激活,欲達需求之(zhī)潔淨度,往往須耗時相當長一段時間。
層流式
層流式空(kōng)氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內,並由高架地板或兩側隔牆板回風,此型式(shì)適用於潔淨室等級需定較高之環境使用,一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式可分(fèn)為二種:
⑴水平層流式:水平式(shì)空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之(zhī)回風係統回風,塵埃隨風向排出室外,一般(bān)在下流側汙染較嚴重。
優點(diǎn):構造簡單,運轉後短時間內即可變成穩定。
缺點:建造費用比亂流(liú)式高,室(shì)內空間不易擴充。
⑵垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上(shàng)往下吹,可得較高之潔淨度,在製程(chéng)中或工(gōng)作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響(xiǎng)其它工作區域。
優點:管理容易,運轉開始短時間(jiān)內(nèi)即可(kě)達穩定狀態,不易為作業狀態或作(zuò)業人員所影響。
缺點:構造費用(yòng)較高,彈性運用空間困難(nán),天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
複合式
複合式(shì)為將亂流式及層流式予以複(fù)合或並用,可提供局部超潔淨(jìng)之空氣。
⑴潔淨(jìng)隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾(lǜ)器將製程(chéng)區域或工作(zuò)區域100%覆蓋使潔淨度等級提高(gāo)至10級以上,可節省安裝運轉費用。
此型式需將作業人員之(zhī)工作區與產品和機器維(wéi)修(xiū)予以隔離,以避免機器維修時影響了工(gōng)作及品質,ULSI製程大都采用此種型式。
潔淨隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維(wéi)修設備時可在維修區輕易執行。
⑵潔淨管道(Clean Tube):將產品流程(chéng)經(jīng)過的自動生產線包圍並淨化(huà)處理,將潔淨度等(děng)級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即(jí)可得到良好之潔淨度,可節省能源,不需(xū)人工的自動化生產(chǎn)線(xiàn)為(wéi)最適宜使用。藥品(pǐn)、食品業界(jiè)及半導體業界均(jun1)適(shì)用。
⑶並裝(zhuāng)局部(bù)潔淨室(shì)(Clean Spot):將潔(jié)淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製程區的潔(jié)淨度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨風櫃即屬此類。
潔淨工作(zuò)台(tái):等級Class 1~100級。
潔淨(jìng)工作棚:為在亂流式之潔淨室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一(yī)小空間(jiān),采(cǎi)用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔淨空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋麵積約10m2以下(xià),四支支柱並加裝活動輪,可為彈性運用。
7風速控製
潔淨室內的氣流是左右潔淨室性能的重要因素,一般潔淨室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區域,易受人、機器等(děng)的動作而幹擾趨於混亂、雖提高風速可抑製(zhì)此(cǐ)一擾亂之影響而保持潔淨度、但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔淨度水(shuǐ)準之時,能以最適當的風速供應,以達到(dào)適當的風(fēng)速供應以達到(dào)經濟性效果。
另一方(fāng)麵欲(yù)達到(dào)潔淨(jìng)室潔淨度(dù)之穩定效果,均(jun1)一氣流之保持(chí)亦(yì)為一重要因素,均一氣(qì)流若無(wú)法保持,表示風速有異,特別是在壁麵(miàn),氣流會延著壁麵發生渦流作用,此時要實現高潔淨度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出(chū)麵的(de)風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入麵之風(fēng)速不可有速度上的(de)差異。速度(dù)過低或過高(gāo)(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象(xiàng)發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,一般潔淨室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
8影響因素
影響潔淨室的氣流因素很多,如製程設備、人(rén)員、潔淨室組裝材、照(zhào)明器具等,同時對於生(shēng)產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。
一般操作台或生產(chǎn)設備(bèi)等(děng)表麵的氣流分流點,應設於潔淨室空間與隔牆板間距2/3之(zhī)處,如此可使作業人員工作時(shí),氣流可(kě)從製程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在製程區前方,將成為不當的(de)氣(qì)流分流,此時大部份(fèn)的氣流將流至製程區之後,作業員操作所引起的塵埃將被(bèi)帶到設備後(hòu)麵,工作台因而將受到(dào)汙染,良率也勢必降低。
潔淨室(shì)內的(de)工作桌等障礙物,在相接處均會有渦(wō)流現象發生,相對地在其附(fù)近之潔淨度將會(huì)較差(chà),在工作桌麵鑽上回風孔,將使渦流現象減少最低(dī);組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設備布局是否完善,亦為氣流(liú)是否成為渦流現象之重要因素。
潔淨(jìng)室的構成是由下列各項係(xì)統所組成(在所(suǒ)組成的係統(tǒng)分子中是缺一不可(kě)的),否則(zé)將無法構成(chéng)一完整且(qiě)品質良好(hǎo)的潔淨室:
⑴天花板(bǎn)係(xì)統:包括(kuò)吊杆(Ceiling rod)、綱梁(liáng)(I-Beam或U-Beam)、天花板(bǎn)格子(zǐ)梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。
⑵空調係統:包括空氣艙、過濾器係統、風車等。
⑶隔牆板(Partitional wall):包括(kuò)窗戶、門。
⑷地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。
⑸照(zhào)明器具:包括日光燈、黃色燈管等(děng)。
潔淨室之建築主體構(gòu)造,一般是用鋼筋或骨(gǔ)水泥,但無論(lùn)是何種構造,必須滿足如下之條件:
●不會因溫度變(biàn)化與振動而發生裂痕;
●不(bú)易產生微塵粒子,且很難附著粒子;
●吸濕(shī)性小;
●為了維持室內之濕(shī)度條件,熱絕(jué)緣(yuán)性要高。
9重要性
潔淨室的潔淨度往往受到氣流的影響(xiǎng),換言之,即人、機器隔間、建築(zhù)結構等所產生的塵埃之(zhī)移動、擴散(sàn)受到氣流的支配。
潔(jié)淨室(shì)係利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之(zhī)多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分幹(gàn)淨。然而潔淨室內(nèi)除了(le)人以外,尚有機器等之發塵源,這些發(fā)生的塵(chén)埃一旦擴散,即無法保持潔淨空間,因此(cǐ)必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
10應用領域
工業
以無生命微粒的控製為(wéi)對象。主要控製(zhì)空氣塵埃微粒對工(gōng)作對象的汙染,內部一般保持正壓狀態。它適用於精密機械工(gōng)業、電(diàn)子工業(半導體、集成電路等(děng))宇航(háng)工業、高純度化學工業(yè)、原子(zǐ)能工業、光磁產品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
生物
主要控製有生命微(wēi)粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對(duì)工作(zuò)對象(xiàng)的汙染。又可分為:
A、 一般生物潔(jié)淨室:主要控製微生物(細菌)對象的汙染。同時其內部材料要能經受(shòu)各種滅菌劑侵蝕,內部一般保(bǎo)證正壓。實質上其內部材料要能經受各(gè)種滅菌處理(lǐ)的工業潔淨室。例:製(zhì)藥工業、醫院(手術(shù)室、無菌病房)食品、化(huà)妝品、飲料產品生產(chǎn)、動(dòng)物實驗室、理化(huà)檢驗室、血站等。
B、 生(shēng)物學安全潔淨室:主要控製工作對象的有生命微粒對外(wài)界和人的(de)汙染。內部要保持與大氣的(de)負壓(yā)。例:細菌學、生物學、潔(jié)淨實驗(yàn)室、物物工程(重組基因、疫苗製備)。
相關知識
11工作(zuò)量
發塵量
潔淨室內的發塵量,來自設備的可考慮通過局部排風排除,不流入室內;產品,材料等在運送過程中的發塵與人體發塵量相比,一般極小,可忽略;由於金屬半壁(彩鋼夾(jiá)心板)的應用來自建築表麵的發塵也很少,一般占10%以下,發塵主要來(lái)自人(rén),占90%左右。在人的發塵量上(shàng),由於服裝材料和樣式的改進,發塵絕對量也(yě)不斷減少。
A、材(cái)質:棉(mián)質發塵量最大,以下依(yī)次為(wéi)棉、的確良、去靜電純(chún)滌綸、尼龍。
B、樣式:大掛式發塵量最大,上下分裝型次之(zhī),全罩型(xíng)最少。
C、活動:動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍。
D、清洗:用溶(róng)劑洗滌的發塵量降至用一般水(shuǐ)清洗的五分(fèn)之一。
室內維護結構表麵發塵量,以地麵為準,大約相應8平方米地麵時的表麵發塵量與一個靜止的人的(de)發塵量相當。
發菌量
工作人員產生的汙染:
1)皮膚:人(rén)類通常每(měi)四天完成一(yī)次皮膚的完全脫換,人類每分鍾脫落約1000片皮膚(平均大小為(wéi)30*60*3微米)
2)頭發:人類的頭發(直(zhí)徑約為50~100微米)一直在脫落。
3)口(kǒu)水:包(bāo)括鈉、酶、鹽、鉀(jiǎ)、氯化物及(jí)食品(pǐn)微(wēi)粒。
4)日常衣(yī)物:微(wēi)粒、纖(xiān)維、矽土、纖維素、各種化學品和細菌。
5)人類靜止和坐立每(měi)分鍾將產生10000個大於0.3微(wēi)米的微粒。
6)人類在頭部和軀幹做動(dòng)作時每分鍾(zhōng)將產生1000000個大於0.3微米的微粒。
7)人類以0.9m/s的速度行走時每分鍾(zhōng)將產生5000000個大於0.3微米的微粒(lì)。
分析國外試驗資料可以認為:
⑴ 潔淨室內當工作人員穿無(wú)菌服時:
靜止時的發菌量一般為10-300個/min.人(rén)
軀體一般活動時的發菌量為 150-1000個/min.人
快步行走時的發菌量為 900-2500個/min.人
⑵ 咳嗽一次一般為 70~700個/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿平常衣服時發菌量 3300~62000個(gè)/ min.人
⑷ 無口罩發菌量:有口罩發菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量:發塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內事例:
⑹ 手術中人員發菌量 878個/ min.人
所以,可知潔淨室內無菌衣人員的靜態發菌量一(yī)般不超過300個(gè)/ min.人,動態發菌量一般(bān)不超過1000個/ min/人,以此作為計算依據是可行(háng)的。
12執行標準
國內標準
⑴.潔淨廠房設計規範 GB50073-2001
⑵.醫院潔淨手術部建(jiàn)築技術(shù)規範(fàn)GB50333-2002
⑶.醫藥工業潔淨廠房設計規範GB 50457-2008
⑷.傳染病(bìng)醫院建築設(shè)計規範(fàn)
⑸.醫藥工業潔淨(jìng)室(區)懸浮(fú)粒子的測(cè)試方法GB/T16292-1996
⑹.QS認證質量手冊
⑺.GMP藥品生產質(zhì)量管理(lǐ)規範
⑻. 潔(jié)淨室施工及驗收規範GB 5091-2010
際標準
ISO係列
⑴ISO14644-1空(kōng)氣(qì)潔淨度等級劃分
⑵ISO14644-2 為(wéi)認(rèn)證ISO14644-1的 連續的相符性的測試和(hé)監測技(jì)術要求
⑶ISO14644-3 測試方法(fǎ)
⑷ISO14644-4 設(shè)計(jì)建造啟(qǐ)動
⑸ISO14644-5 運行(Operations)
⑹ISO14644-6 術語和(hé)定義
⑺ISO14644-7 分離裝置(潔淨空氣罩、手套箱、分(fèn)離器和微循環設備
⑻ISO14644-8 分子汙染
⑼ISO14644-9 潔淨化學品(液體)
IEST係列
潔(jié)淨空氣:
RP-CC001高效與超(chāo)高效(xiào)過濾器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔淨室測試RP-CC007超高效(xiào)過濾(lǜ)器測試
RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC021高效與超高效過濾器過濾器(qì)介質測試
RP-CC034高效與超高效過濾器(qì)過濾器檢漏
潔淨室與潔淨環境:
RP-CC006潔淨(jìng)室測試(shì)
RP-CC012潔淨室設計要點
RP-CC016潔淨室非揮發性殘留物質的沉積率
RP-CC018潔淨室(shì)管理運行與檢測程(chéng)序
RP-CC022潔淨室與受控環境中的靜電
RP-CC023潔淨室中的微生物
RP-CC024微電子設備(bèi)震動測量與說明
RP-CC026潔淨室運行
RP-CC027潔淨室與受控環境中人員與行為
特殊應用:
RP-CC029使用噴漆器(qì)要考(kǎo)慮(lǜ)的汙染(rǎn)控製(zhì)因素
運行保障(zhàng):
RP-CC003淨(jìng)室與受控(kòng)環(huán)境的服(fú)裝係統要點
RP-CC004淨室與受控環境用抹布材料評估
RP-CC005淨室與受控環(huán)境用手套和指套
RP-CC020潔淨室文件材料(liào)與格式
設備:
RP-CC002單向流裝置
RP-CC013設備校準與檢(jiǎn)驗程序
RP-CC015潔淨室生產設備與輔助設備
術語:
RP-CC011汙染控(kòng)製領域術語和定義
文獻:
RP-CC009汙染控製領域的標準、準則、方法與相關文件概覽
詳細參數
潔淨標準與潔淨等級 (ISO 國際標準)
各粒(lì)徑檔(dàng)最大容(róng)許粒子濃度 (顆/m3)
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1,
4 10,000 2,370 1,020 32 83
5 100,000 23,700 10,
6 1,000,000 237,000 102
空氣潔淨度應按下(xià)表規定劃(huá)分為四個等級。
空氣潔淨度等級表
等級
每立方米(每(měi)升)空氣中
≥0.5微米塵粒數
每立(lì)方米(每升)空氣中
≥5微(wēi)米塵粒數
100級
≤35×100(3.5)
1000級(jí)
≤35×1000(35)
≤2500(0.25)
10000級
≤35×10000(350)
≤25000(2.5)
100000級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注:對於空(kōng)氣潔淨度為100級的潔淨(jìng)室內大於等於5微(wēi)米塵粒的計算應進行(háng)多次采樣。當其多次出現(xiàn)時,方可認為該測試數值是可*的。
13應用範圍
淨化工程是一個應用行業非常廣(guǎng)泛的基礎性配套產業,在電(diàn)子信(xìn)息、半導體、光電(diàn)子、精密製造、醫藥衛生、生物工程(chéng)、航天航空、汽車噴塗等眾多行業均有應用,並根(gēn)據行業的精密與無(wú)塵要求(qiú),等級差別也較大。
目前級別最高的當屬航天航空的航空倉,基本是屬於1級(jí),屬於特殊領域,麵(miàn)積相對較小。
另外對(duì)級別要求較(jiào)高的是生(shēng)物化學實驗(yàn)室和高精納米材料(liào)生產車(chē)間,互聯網芯片(piàn)的(de)發展將(jiāng)是未來需求的一大方向。
14八大特點
第一點,采用更適合潔淨室(shì)原理的圓弧轉角;
第二點,係統自動控(kòng)製運行,雙門(mén)電子互鎖,並設有(yǒu)光電感應器,單向通道風淋室(shì),從非潔淨區進入,關門後(hòu)紅外線感應有人就(jiù)吹淋,吹淋(lín)後(hòu)入門(mén)鎖(suǒ)閉,隻能(néng)從出門走(zǒu)出風淋室;
第三點,整體冷軋鋼板製作,外表麵靜電噴塑處(chù)理;
第四點,門、底板、噴嘴均采用不鏽鋼製造,美(měi)觀大方;
第五點(diǎn),軟鍵觸按式時間(jiān)繼電器,LED顯示及設置吹淋時間,範圍在(zài)10-99s可調,吹(chuī)淋時雙門(mén)自(zì)動鎖閉;
第六點,采用初、高效兩級過(guò)濾係統,有隔板高效過濾器(qì),過濾效率為:99.99%,確保淨(jìng)化級別;
第七點,風嘴出風口風速(sù)高達25m/s以(yǐ)上,吹到人體上風速18m/s以上;
第八點,采用EVA密封材料,密閉性能高。
15人員規範(fàn)
為了避免和減少潔淨室從業人員對潔淨室造成的汙染。任何潔淨室工作以外的人員,在與(yǔ)潔淨室工作人員捷星接觸談話時,要將自己背對過去,因為口鼻會向注視的方興散(sàn)發汙染。
做到(dào)口鼻不(bú)對潔淨室的工作區。
如果出現咳(ké)嗽或者(zhě)打噴嚏的(de)情況,要做到(dào)背對潔淨室(shì)的工(gōng)作區用手套掩住,然後及時更換手套。情況嚴重的(de)者應立即離開潔淨室區域(yù),並向領導報告。
潔淨室內不得放置於潔淨室工作無關的物品。潔淨室工作物品要排放有序。
當設備不能正常運轉的時(shí)候,不要私自維修,要向領導報告,等專業人員對潔淨室進(jìn)行維修。
另外,由於潔(jié)淨室對潔淨度有著過高的要求。因此(cǐ),對潔淨(jìng)室的(de)工作人員的身體方麵的狀況(kuàng)要求是很嚴格的。
患有呼吸道疾病的人,由於會對(duì)潔淨室的空氣造成汙染,故不能進入潔淨(jìng)室工作
患有結膜炎(yán)或者其他產生分泌物的病症(zhèng),或者患有皮膚類疾(jí)病的人員都是不適合在潔淨室工作的。
另外需(xū)要注意(yì)的,潔淨室的工作人員要對自己的口腔衛生,保持(chí)注意。潔淨室工作人員(yuán)要定期的(de)進行身體健康狀況的檢(jiǎn)查
16運行(háng)節能(néng)
●潔淨室送風、排風、新(xīn)風之間應切換自如,如生產停止、排風櫃也應停止或減小風量,新風也應調小。
●工藝並非絕對要求值班風機(jī)運行保護(hù)的,應采用提(tí)前開機自淨的辦法。
●潔淨室(shì)通風機轉速使其壓頭可以控製,不要總處於最大壓頭或最大風量運行的工(gōng)況。
●運行應最大限度地利用室外(wài)空氣冷卻作用,並在此時增大新風(fēng)比。
●潔淨室應(yīng)根據室外氣象條件變化,通(tōng)過自控或手控即能調整設備出力。
●縮小潔淨空間體積,如潔淨隧道或隧道式潔淨室,根據生產要求把潔淨空間劃(huá)分為潔淨度(dù)級別不(bú)同的工藝區(qū)、操作區、維修區和(hé)通道區。


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